深层QPQ技术的高抗蚀机理及应用研究.pdfVIP

先进节能热处理装备和技术论文集 层厚度为14～16um，中间层往里为扩散层。向内为疏松层、化合物层、中间层和扩散层。 20钢经深层QPQ处理后化合物层厚度为50～ 疏松层是化合物层的一部分，是化台物层外面 52¨m，疏松层厚度为8～11pm，中间层厚度 的不致密的部分。从图中可以看出，图4与图 为15～18¨m，中间层往里为扩散层。 2b基本吻合，井观测到了最外层的氧化膜， 氧化膜厚度为5～10“m。从图中可以清楚地 看到，在工件表面疏松氮化层上形成高抗蚀的 Fe，Ot氧化膜。深层QPQ技术具有高抗蚀的原 因就在于这层摩擦系数低、化学稳定性好的 隰黼Fe，0。氧化膜的存在。氧化膜隔断了腐蚀介质 (a)45钢 (bJ 20钢 和氯化层之间的通道，保护氯化层不受腐蚀。 图2操层QPQ处理的盘相图片 因此．在基体材料的表面有Fe，o。氧化膜和更 从图1、图2中可以看出，常规QPQ处理澡氮化层的双层保护，使工件在QPQ处理后具 5～ 有高抗蚀能力。 45钢、20钢的化台物层的厚度偏浅，仅1 20¨m，经过澡层QPQ处理后，化台物层的 u 厚度由15～20“m加深到30m以上，为普通 QPQ技术的一倍多，氮化层具有比基体材料更 高的抗蚀性，在各种渗氨技术的应用中已获得 公认。因此，经过操层QPQ处理后化合物层厚 度增加对提高抗蚀起了关键的作用。 2．渗层的x射线衍射分析 图4深层QPQ处理20钢渗层的显微组织700× 深层QPQ处理20钢渗层的x射线衍射谱线 为了明确氧元素进入化台物层内部的详细 如图3所示。渗层的最表面主要fljFe30。和Fe，N 情况．以及氧元素进入化合物层内部与疏松的 (E相)组成。这是由于渗层最外层的氧化膜 关系。笔者对经深层QPQ处理的试样的化合 很薄，在对最表层进行x射线衍射时会穿透氧 物层进行了氨元素和氧元素的扫描，如图5所 化膜达到化合物层，因此渗层的最表面的相包 示。图5a是对试样由表面向内做氧元素扫描。 括氧化膜和疏松层的Fe，O。，还有化合物层中 表面的氧元素含量高，这与表面氧化膜的存在 的Fe，N(E相)。 相一致，同时氧元素的含量向化台物层的内部 进入很深。图5b是对化合物层中灰色疏松部 分进行的元素扫描，结果表面氨元素的含量大 大减少，而氧元素的含量大大增加。这证实了 化合物层的疏松层是由于氮原子的分子化，形 成气体氮分子，逃离试样的表面，从而形成孔 洞．在深层QPQ处理进行氧化时，氧原子沿着 孔洞