Na掺入制备不锈钢衬底CIGS太阳电池.pdfVIP

第29卷第7期 太阳能学报 Vd．29．№．7 20吣年7月 ACI．AEI虹盈GnESOLARIssIMCA jm．，加∞ Na掺入制备不锈钢衬底CIGS太阳电池 施成营，何 青，赵九成，李风岩，姜 一， 张 力，王春婧，周志强，李长健，孙 云 (南开大学光电子薄膜器件与技术研究所，天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室，天津3∞0r71) 摘要：以轻质柔性不锈钢材料为衬底，利用共蒸发法制备较高质量的四元化合物cu(h，Ga)‰薄膜，在沉积 aGs薄膜前沉积一定厚度的NaF预置层，使得所制备的aGs薄膜含有适量浓度的№，并获得了10．06％的转换效 率。利用x射线衍射仪和x射线荧光光谱仪分别测量了所制备薄膜的晶相和组分，利用扫描电子显微镜分析了不 锈钢衬底cIGS太阳电池的断面形貌，最后分析了NaF的掺人对cIGs太阳电池的影响。 关键词：cu(IlI，Ga)se2(CIGs)；柔性；NaF；太阳电池；不锈钢 中图分类号：TM615 文献标识码：A 积CIGS薄膜。不锈钢的热膨胀系数为lO×10一～ O前言 11×10“K～，与CIGs吸收层的膨胀系数接近，制备 以不锈钢为衬底，制备轻质柔性Cu(hl，Ga)Se2 的cIGS吸收层具有很强的附着力。但是不锈钢衬 (简称C螂)薄膜太阳电池，其在空间领域具有很强底不含№，为了制备出较高质量的cIGS薄膜太阳 的应用前景，它不但具有质量轻、可弯曲、不怕摔碰、 电池，制备CIGS吸收层前先沉积一定量的含№物 重量比功率高、显著降低发射成本等优点，而且在空 间高能粒子的辐照下具有很好的稳定性。柔性衬底 含Na物质相比较为稳定，不易水解，因此本文试验 太阳电池另一个重要优点是可采用绕带式沉积，利 选用NaF作为含Na物质直接沉积在Mo导电层上， 于实现大规模生产，并显著降低生产成本。在蒸镀 与未掺入NaF的同批电池相比较，电池转换效率显 减反射膜的情况下，小面积不锈钢衬底CIIGs太阳电著提高，太阳电池效率在没有沉积减反射膜的情况 池的转换效率已经达到17．5％【lJ，非常接近碱石灰 下达到了10％，电池有效面积为0．842甜。 玻璃衬底cIGs太阳电池的最高效率【2】。 1实验 CIGs吸收层是cIGs太阳电池的核心，制备出高 质量的ClGS吸收层是获得高性能太阳电池的关键。 直流磁控溅射法在不锈钢衬底上沉积约l脚的 要获得高质量的CIGS吸收层需要满足两个条件bJ，Mo导电层作为背电极，并且利用真空蒸发法在Mo 首先是高温沉积CIGs吸收层，衬底的温度在沉积导电层上预先沉积NaF层，厚度约为20～30砌。 CIGS吸收层时必须有部分阶段达到500～600℃；其CIIGs吸收层采用三步共蒸发法沉积，厚度约2．5脚， 次CIGs吸收层内部含有约O．1at．％的Na元素，它详细制备过程可参考文献[4]。利用化学水浴法制 能显著提高CIGs太阳电池的效率和重复性，№的备CdS过渡层，厚度约为50衄；作为窗口层的高阻 掺入可以是衬底内的Na通过Mo导电层扩散到 CIGs层内，也可以通过蒸发含Na物质预置层实现。射法制备，厚度分别为80咖和900姗；最后真空蒸 本文试验选用的不锈钢衬底，厚度5吣，可以直接 发Ni／灿栅电极完成CIGS太阳电池的制作。 在市场上购买，不仅价格低、货源广，而且在600℃仍 为了对比N擅掺入对ClGs太阳电池的影响，采 具有很好的机械稳定性和热稳定性，适宜高温下沉 用预先沉积和未沉积NaF预置层的两种不锈钢衬底 收稿日期：200r7抛 基金项目：国家高技术研究发展计划(863)项目(2004舢岱13020) 万方数据 太 阳 能 学 报 29卷 同时沉积吸收层CIGS、过渡层CdS和窗口层i．z