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专家论坛 Expe~ Forum 面向21世纪晌纳米电子学 彭英才la,2，赵新为 4，傅广生 (1．河北大学a．电子信息工程学院；b．物理科学与技术学院，河北 保定 071002； 2．中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室，北京 100083； 3．日本东京理科大学物理系，东京 126—8601； 4冲 国科学院微电子研究所纳米材料与器件中心，北京 100029) 摘要：评论了纳米电子学的沿革路程，介绍了纳米电子学的研究内容，并预测了它的发展趋势。 进而指出，纳米电子学的崛起与发展将会对21世纪的量子计算机、量子通信以及量子信息处理 等产生革命性的影响。 关键词：纳米电子学；发展路径；量子化效应；纳米加工技术；纳米量子器件 中图分类号：TN40 文献标识码：A 文章编号：1671—4776(2006)O1—0001—07 21Century-Oriented Nanoelectronics PENG Ying—cai 2 ZHAO Xin—wei 4 FU Guang—sheng (1．8．CollegeofEelctronicandlnformatiormlEngineering；b．College ofPhysicsScienceandTechnology，HebeiUniversity Baoding071002，China；ZKeyLaboratoryofSemiconductorMaterialsandScience，InstituteofSemiconductors， ChineseAcademyofSciences，Bejiing100083，China；3．DepartmentofPhyscis，TokyoUniversityofSciences， Tokyo126—8601，却 ∞；4．LbaoratoryofNano—MaterialsandNano—Devices，InstituteofMciroelectroncis， ChineseAcademyofSciences，Beijing100029，China) Abstract：The eourse of change，the developmentand the contentswere reviewed and intro— duced，thedevelopingtendencywasalsopredicated．Itispointed outthatthedevelopmentofthe nanoelectronicswillcreated revolutionaleffectforthe quantum computers，quantum communica- tionsandquantum informationalprocess，etc． Key words：nanoelectronics；developmentroutes；qunatum effects；nanof_abrications：nanoquan— tum dev；es 发展水平和速度而言，还是从涉及层面与范围来 1 引 言 看，都是其他学科领域所无可比拟的。 1947年晶体管的发明，终结了真空电子学旧 这种锐不可挡的发展趋势21世纪仍在继续。 时代，开创了固体电子学新时期。可以说，在过 目前，一个以纳米量子器件为主攻方向的纳米电子 去的半个多世纪中，以集成电路发展为主要标志 学崭新时代已经来临，并已引起世界各国包括政府 的微电子技术和其后相继发展起来的半导体超晶 机关、科研机构和产业部门等多方面的高度重视。