f(θ)物镜非线性误差的检测研究.pdfVIP

第3l卷第4期 光电工程 V01．31．No．4 翌兰±兰星塑竺三!!竺型!墅垒竺皇!￡垒坠：唑 文章编号：1003—50lX(2004)04删—04 厂一秒物镜非线性扫描误差的检测研究 郑旭峰，倪旭翔，陆祖康，王立强 (浙江大学现代光学仪器国家重点实验室，浙江杭州310027) 摘要：在振镜和，一疗线性扫描物镜构成的线性扫描机构中，，一口物镜的设计、加工误差会引起一 定的非线性扫描误差，影响扫描戍像的质量。为了检测，一疗物镜的非线性扫描误差，使用基于线 阵ccD的检测电路和扫描光点位置检测算法进行了实验研究，得到了可用于校正的扫描光点位 置以及振镜摆角的对应关系曲线和，一口物镜的非线性扫描误差曲线。 关键词：生物芯片扫描仪；，一目物镜；非线性扫描误差；误差检测 中图分类号：TN29 文献标识码：A Detec60nofnoIllin昀r ermr sca衄ingf打，_抽础l=：obj佻廿ve Z衄NG Xu-feI唱，NIXu·强卸g，LUZⅡ-h呜，W^NG U-qhng (5蛔把脚肠幻mfo，)，D，肘诎m Abs衄In：hla n雠hanismcon蚶tIltcd li雠盯∞柚ning bypolafi枷on enDrsof，-f^e加dbjecnve谢u eⅡDrs objecⅡve，thedesign柚dprocessing c肌∞soI鹏nonline盯sc锄ning and丽llaff酏t ordertomeasure scallning e附of imgingqual时In nonHne盯sc锄伽gnle，_加以 isc枷ed deo∞丘锄circu“basedon objccdve，anex辨rimen锄stIldy0utbyusing Ii∞盯ca)anda det∞don relalioncurvc Scanningspotposit岫n alg嘶tllm．IIl出isway山ecorresp∞出ng betw筚n filter e眦curve sc糊ingspotposidonvs．pol撕刎onmt孤gle柚dnonline盯sc卸|lingof产妇把 ar；e c柚be to obtained。柚d山e∞curves enDL objcc石Ve appliedcalib响gnonline盯sc她IIing dt忙cdon Keywords．BiochipSc锄m盯；．厂-f^e幻objec6ve；Nonhne缸sc删ngerror：Error 引言 生物芯片技术是近年来生命科学、微电子学、微机械、计算机、物理以及化学等多领域、多学科交叉 的一门技术。是一种高效、大规模获取生物信息的重要手段，它包括生物芯片的制作和杂交信号的检测、 分析等相关技术·杂交信