TFT—LCD的基本结构和TFT制造技术.pdfVIP

维普资讯 q TFT—LCD的基本结构和TFT制造技术 碘 ]3_01j 1 引言 T 21． 随着信息社会的高度发展，用于人——机联系的显示越来越重要了。由于计算机趋向于 小型化，因此 ，与计算机连接的显示器件也要求体积小、重量轻、耗 电少。从根本上来说， 就是要以新的显示器件来取代持续4O多年唱主角的CRT (阴极射线管)。担当这一 重任 的 就是平板显示器，其中最有前途的是TET—LCD，即用薄膜晶体管驱动的液晶显示器。 本文介绍TET—LCD的基本结构、TFT阵列工艺概况以及标准化的发展动 向。 2 TFT--LCD的基本结构 2．1 显示屏 TFT—LCD显示屏 的 基 本 结构如图 1所示。在两块间距为 饷振片 几微米的玻璃基板之间封入扭 曲 向列型 (TN)液 晶，构成 液 晶 盒。这两块玻璃基板 ，一块是滤 滤色器基扳 色器基 板 (CF) ，用 红、绿 、 兰 (R、G、B)三原 色滤 色 器 构成像素 ，并在滤色器上制作透 液晶 明共用 电极，另一块是TFT 基 板 ，在此基板上制作了矩阵式薄 膜晶体管，用来开关像素 电极的 TFT基板 电压信号。为 了使 液 晶 层 保 持 一 定的厚度 ，在两块玻璃基板之 间放有透明隔垫，例如聚酯膜片 偏振片 或玻璃小球。两块玻 璃 基 板 外 侧 ，装有偏光轴互相垂直的两块 偏振片，用以调制背光源发出的 背光许 光。用得最多的是常白模式，即 在像素 电极上加信号电压时像素 图1 TFT～LCD显示屏基本结构示意圈 显示黑色 ，不加 电压时 显 示 白 3 维普资讯 色。背光源发出的光，在通过偏振片、TFT基板和滤色器后会衰减，整个显示屏的 光 利用 率不蓟 3 数据线 驱动 电路 _—— l 2 3 Ⅲ ×3 一 一 一 ● 上 ： ； 铒 R ’ 2 ’— n 。 涪 c L：] 墓基3 辩 蚕 上 ＼