基于激光干涉仪与自准直仪的平面镜轮廓高精度测量技术.pdf

第49卷第17期 机械工程学报 Vbl．49NO．17 2013年9月 JOURNALOFMECHANICALENGINEERINGSep． 201 3 DoI：lO．3901，JME．2013．17．052 基于激光干涉仪与自准直仪的平面镜 轮廓高精度测量技术木 杨平1 朱睿1 郭隐彪1高增漯2 (1．厦门大学物理与机电工程学院厦门361005； 1138656 2．东京大学精密工学系东京 日本) 摘要：基于三组激光干涉光路与一台自准直仪的光学扫描检测方法，开发可用于大尺寸平面镜二维轮廓的高精度测量技术。 通过联立线性方程式与最小二乘法结合的计算算法，可得到平面镜二维轮廓的测量结果及整个测量过程的不确定度值。利用 建模仿真整个测量过程，分析不同采样点数Ⅳ下不确定度数值的变化趋势。此外，搭建基于高精度三坐标测量仪平台上的 光学检测系统，试验果表明该技术成功实现对100mln平面镜二维轮廓的测量，并可实现重复性测量精度在士20砌范围内。 通过与Zygo白光干涉系统结果的比较，该检测技术可以实现纳米级别的测量精度。 关键词：激光干涉仪 自准直仪大平面镜二维轮廓扫描检测 中图分类号：TH741 A MeasurementofFlatMirrorProfile High·-precision Technique InterferometersandAutocollimator Comprising 2 YANG ZHURuilGUOYinbia01TAKAMASU Pin91 Kiyoshi andMechanicalElectrical (1．School University,Xiamen361005； ofPhysics Engineering，Xiamen ofPrecision 1 ofTokyo，Tokyo138656，Japan) 2．Department Engineering，TheUniversity and autocoHimatortomeasurea flatlnilTor Abstract：An threelaserinterferometersone large opticalscanningtechniquecomprising with isdescribed．Theflatmirror anditsmeasurementarereconstructedan of profilehighaccuracy profile uncertainty by application simultaneouslinear and method．Thewholemeasurementis modeledthe equationsleast—squares processnumericallyby computer fordiffer