基于移动LIGA工艺的微针阵列的设计与制作.pdf

第7卷第1期 纳米技术与精密t程 V01．7No．1 2009年1月 andPrecision Jan．2009 NanotechnologyEngineering 基于移动LIGA工艺的微针阵列的设计与制作 李以贵1，杉山进1，2 (1．上海交通大学微纳米技术研究院薄膜与微细技术教育部莺点实验室，上海200240； 2．立命馆大学微系统系。日本草津525．8577) 摘要：提出了一种聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微针阵列的微细加工工艺，即移动x光光刻在光刻胶上得到与 LIGA掩模板图形相似的曝光能量分布图，再利用显影技术获得了其断面形状与LIGA掩模板图形相似的PMMA微 针阵列结构．为了解决空心微针阵列的加工问题，通过对准曝光实现空心孔的微细加工．用此纳米加工技术获得了 高度为350～700 um、针锋尖锐度为1lxm的PMMA的微针阵列．该阵列面积约为lcm2，微针数约为900根．实验 结果表明，利用这种新方法可以非常方便地加工出高质量的实心微针、空心微针和带流体沟道的分叉微针等各种微 针．该微针阵列可与微泵、微通道等集成为一体，实现无痛化注射或无痛化采血． 关键词：无痛化注射；微针阵列；移动LIGA 中图分类号：TH703文献标志码：A 文章编号：1672．6030(2009)Ol一0081．04 andFabricationofMicroneedleBasedon Design Array LIGA MovingTechnology LI Susumul2 Yi．guil．SUGIYAMA forThinFilmandMicro·Fabricationof ofEducation。ResearchInstituteof Laboratory TechnologyMinistry (1．Key Micro／NanoScience andTechnology。ShanghaiJiaotongUniversity，Shanghai200240。China； of 2．DepartmentMicrosystems，RitsumeikanUniversity，Kusatsu525—8577，Japan) Abstract：AIieWmicrofabricationmethodformicroneedlewas toobtain distributionin presented energy array exposure the similartothe intheLIGAmask polymethylmethacrylate(PMMA)photoresistplate paaerns bymovingX-raylithogra- after microneedle Wassimilartothe ofthe method；and