MEMS原子自旋陀螺气室芯片加工设备与工艺研究.pdf

第3l卷第lI期 仪 器 仪 表 学 报 v01．31l‰1l Chinese ofScientificInstrument 2010年11月 Journal Nov．2010 MEMS原子自旋陀螺气室芯片加工设备与工艺研究术 董海峰，房建成，周斌权，秦杰，万双爱 (北京航卒航天大学仪器光电学院，新型惯性仪表与系统技术国防重点学科实验室北京100191) 摘要：原子自旋陀螺是基于原子自旋极化效应的一类陀螺仪，在实现高精度检测的同时，又具有小型化和批最化制造的潜力。 kPa气JK的 本文针对原子自旋陀螺对气室芯片的高浓度补偿气氛要求，结合集成制造的技术趋势，设计制造r能承受20×101．325 气窒芯片专用键合装置。完成了集成RF线圈的6amagatAmagat为浓度单位，定义为1个大气压O℃情况下单位体积内理想气体 的分子数浓度原子A旋陀螺用气窒芯片的工艺流程设计并进行了工艺流片。流片结果获得了完整的气室芯片结构，漏率的检测 结果为3．0×10一Pa·m3／s，验证r装置和I：艺的町行性。 关键词：陀螺；原子自旋；气窜芯片；传感器 中图分类号：TP212．1文献标识码：A 国家标准学科分类代码：460．40 of forMEMSatomic Fabricationatomic cell vaporchip spin—polarizedgyroscope Jie，Wan DongHaifeng，FangJianeheng，ZhouBinquan，QinShuangai Scienceand and Inen缸l (Schooloflnstrumeutatwnopto—electronicsEngineering，＆咖lgUnivenhyofAeronauticsAstronautics，Novel National Syaem ofFundamentalSciencefor 100191，China) l瑚trumemNavigationTechnology研Laboratory Defense，Being Abstract：Atomicisbasedontheatomic hasthe tomeasurero— spingyroscope spin—polarizedeffect，whichpotential tation inasmall evenona atomic cellfor precisely volume，or chip．Thevapor spingyroscoperequireshighdensity is andusedto the field．A bonder compensationgas，whichpolarizedbyspin—exchange compensatemagnetic special is withmaximum to20arm．Afabricationis inwhichtheRFcoilis designed pressureup processdesigned deposited ona waferinsteadof an