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渐变反射率镜的设计与制备.pdf
第35卷第8期 中 国 激 光 V01．35，No．8
2008年8月 CHINESEJOURNALOFLASERS August，2008
文章编号：0258—7025(2008)08·1240-05
渐变反射率镜的设计与制备
吕国暖1’2 李大伟1’2 黄建兵1 易 葵1
(1中国科学院上海光学精密机械研究所，上海2018002中国科学院研究生院，北京100039)
摘要按照高斯型渐变反射率镜(GRM)的参数要求，采用了中间层厚度渐变的方案对膜系和掩模板形状进行设
计。根据薄膜的实际需求和具体的沉积设备，设计了掩模和掩模切换装置。在一次高真空环境下镀制了渐变反射
率镜的所有膜系。采用直接测量的方法，测量了高斯型渐变反射率镜反射率的径向分布。测试结果表明，用这种
技术制备的样品，与设计要求基本一致。分析得出，掩模板形状与精度对镀制结果有影响。随着设计尺寸减小，掩
模板对膜料分子的散射作用增强，使样品中心反射率小于设计要求，边缘出现旁瓣。提出了减小基片与掩模板之
间的距离和提高膜厚监控的精度的改善方案。
关键词 光学薄膜；渐变反射率镜；渐变厚度层；高斯曲线；掩模
中图分类号 O484 文献标识码 A doi：10．3788／CJ1240
andFabricationofGraded Mirrors
Design Reflectivity
LnGuonuanl2LiDaweil’2 YiKuil
HuangJianbin91
Institute andFine
Mechanics，Chinese
，1Shahghai ofOptics AcademyofSciences，Shanghai201800，China、
2
、 Graduate Chinese 100039．China ，
Universityof AcademyofSciences．Beijing
Abstract tOthe ofthe mirror(GRM)withGaussian
Accordingparameterrequirementgradedreflectivity profile，
and
the structurethemask were middle maskandthe
layer patterndesignedbyusinggraded—thicknesslayer．The
maskswitchover were theactual ofthethinfilmsandthe
equipmentdesignedconsidering requirement specific
ofthe mirrorwere inone vacuum a
depositfacility．Alllayers gradedrefleetivity depositedhigh environment．Using
direct method，theradial distributionof mirrorwithGaussianwas
measuring reflectivity gradedrefle
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