溶胶-凝胶法制备的ZnOAl薄膜的微观结构及光学、电学性能.pdfVIP

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2015-09-11 发布于湖北
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溶胶-凝胶法制备的ZnOAl薄膜的微观结构及光学、电学性能.pdf

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溶胶-凝胶法制备的ZnOAl薄膜的微观结构及光学、电学性能.pdf

第42卷第5期金属学跋 V61．42NO．5 2006年5月505—510页 ACTAMETALLURGICASINICA Mav2006 PP．505—510 溶胶一凝胶法制备的ZnO：A1薄膜的微观结构及光学、电学性能周宏明易丹青余志明肖来荣李荐王斌 (中南大学材料科学与工程学院，长沙410083) 摘要性能的影响．结果表明，退火温度越高，多晶Azo薄膜的(001)晶面择优取向生长的趋势越强，并且随退火温度升高，薄膜的晶粒尺寸增大，透光率增加．薄膜晶体结构为纯Zno的六角纤锌矿结构．在掺杂浓度l％(摩尔分数)、退火温度500℃及镀膜层数10的条件下，得到了电阻率为3．2×10一。Q·cm、可见光区的平均透射率超过90％的AZO薄膜．关键词 ZnO：AI(AZO)薄膜，溶胶～凝胶法，微观结构，光学、电学性能中图法分类号TB383 文献标识码A MICRoSTRUCTURE．oPTICALANDELECTRICAL PRoPERrIESoFZnO：AlFILMPREPARED BYSoL—GELMETHoD ZHOU 0 Bin Zhiming，XIA Jian，WANG Hongming，YIDanqing，YU Lairong，LI SchoolofMaterialsScience South and 410083 Engineering，CentralUniversity,Changsha Correspondent：ZHOU NationalNaturalScienceFoundation Supportedby ofChina(No received revisedform2005—11—18 Manuscript2005—09—01，in ABSTRACTAluminiumzinc thinfilmswere on oxide(AZ0)polycrystalline doped preparedoptical substrates effectsofaluminium bySOl-gel glass dip—coatingprocess．The and number onthe andelectrical layear annealingtemperaturemicr08tructure．opticalproperties the were of films investigatedbyX—ray electron andelectrical that fSEMl resistancemeasurement．Theresultsshowed scanning microscopy with the from300to film more i