溶胶-凝胶法制备钌系薄膜电阻.pdfVIP

第37卷 增刊l 稀有金属材料与工程 V01．37，Sup风l 2008筚 1月 RAREMETALMATER璩LSANDENG小陋E砌[NG 2008 妇nuary 溶胶一凝胶法制备钌系薄膜电阻 胡鹏飞，肖汉宁 (灌露天学耪辩群孥与工程学陵，溪毫长沙410082 摘 要：利用醋酸铅、氯化钉、正硅酸乙酯为主要原料，采用溶胶一凝胶工艺制各了以钉酸铅为盘晶相的钌系漳膜电 爨耪精，运焉羚稻。、xR蚤_襁lR等手段瓣弹鑫麴镰稳窝螽纯篾律进霉7磷究。薄貘在热处理过程巾辑窭钌酸锻鑫稳， 薄膜电阻方阻值随热处理峰值温度升高先减少再增加。 关键词：溶胶～凝胶：钉；薄膜；电隰 审鞠法分类号：稻霉3 交藏标谈鹤：A 文章编鼍：l∞2．185X≤200S)s1．199·雅 湿膜经红外干燥后低温(350℃)热处理分解有机物， 1 弓l 言 梵达委所需貘豹厚度，采蔫多次成貘懿方法，重复“旋 钉系电阻材料是目前广泛采用的贵金属电阻材 涂一干燥一热处理”过程，最后多层膜经高温(500 料，具有稳定性好，温度系数低，噪声系数小，阻值 ℃)热处理获得电阻材料。 范围宽等优良性麓，被广泛应用于各种高中端奄鼯瑟】。 溶胶鹃糙度采焉运动粘度诗进行测曩；电阻阻稳 传统钌系电阻生产工艺为：机械研磨导电相和玻璃相 通过磁控溅射钽金属电极后采用万用表测量，并计算 达到所需粒度，添加有机载体配制成电阻浆料，浆料 其方阻；通过KBr聪片的方法，采用筒缄rAR370型 经丝网印刷后浇成厚簇电阻。虽然在浆料中原料瓣粒 傅立时红外光谱便对样品进行缎乡}光谱分辑，分析凝 度较细，但微观的均匀性难以保证，造成电阻性能的 胶玻璃内部元素的键合方式；热分析采用STA449C溅 恶化f2】。溶胶一凝胶法具有化学计量比准确，易于掺 差热分析仪(升温速度为lO℃／min，参比样为灼烧的 杂，藏膜面积大，成本低等特点【鬟，已经应用p墨Iz铁 电薄膜、ITO透明导电薄膜等许多电子元件的生产 行分析。 p71，采用溶胶一凝胶法制备钌系薄膜电阻对于制备高 3结果与讨论 性能呶阻及研究钌系电阻能导电机纛具有重要意义 【引。本正作采用溶胶一凝胶工艺在氧化铝基板上制备 3．1 成膜过程中溶胶一凝胶的转变 钌系薄膜电阻，研究了先驱馋溶胶一凝胶的转化过程， 原料巾的TEOS和无机盐类经过水勰缩聚形成溶 凝胶热处理过程中成键和糯组成酶交纯，扶丽讨论阻 胶，在溶胶中东解和聚合反应溺时存在，承解过程的 值随热处理变化的规律。 单体发生聚合，随着反应的进行，聚合作用明显，进 一步形成多聚体骨架，形成交联的聚合物网络，溶胶 2实验 的粘度逐渐增大洚·镄，最终失去流动性转变为凝胶。 选用分析纯正硅酸乙酯、三水醋酸铅、三水氯化 第一阶段粘度不随时间显著变化，由于正硅酸乙酯的 水鳃速度远快于水解产物的缩聚速度，虽然水解单体 钌为原料，按TEOS：Eto联：H20：薹差Ac-l：4：4： O．125(摩尔比)的比例将越硅酸乙醺预水解，褥按眈的聚合使粘度有所增加，但由予缩聚速度缀低，同时 例加入醋酸铅、氯化钉的乙二醇混合盐溶液，搅拌混 水解和缩聚产生的乙醇和水又使粘度有降低的趋势， 合；静置，陈化。