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激光三角法改进的显微镜快速自动对焦方法.pdf
第41卷第7期 红外与激光工程 2012年7月
VoI．4lNO．7 InfraredandLaser Jul．2012
Engineering
激光三角法改进的显微镜快速自动对焦方法
张小波，范富明，程良伦
(广东工业大学自动化学院，广东广州510006)
摘 要：为了满足，n可一LCD显微镜光学检测系统在工业上的需求，基于激光三角测距法提出一种改
nln波
进的显微镜快速自动对焦方式，并建立了光路数学模型。该方法在可见光光路中加入一路808
长的激光，激光光束在被检测物体表面反射后经过一系列光学器件投射在CCD相机上形成一个半圆
光斑。以对焦完成时CCD上的光斑半径最小为基准，给出了离焦量与光斑信息探测量之间的数学模
型关系，实时控制PZT进行自动调焦。根据给定的数学模型，利用高斯曲线拟合对光斑中心进行定位
并计算离焦量，实现对实时控制压电陶瓷的自动对焦。在50倍物镜下的实验结果表明：实际测量值
与理论值有很好的线性度，在-+30斗m的对焦平面上对焦重复定位精度可达到o．2Ixm，对焦时间在
0．26S。与传统的显微镜对焦方法相比，该方法有较高的精度、较好的线性度和更高速等优点，可满足
工业光学检测的需求。
关键词：光学检测； 激光三角法； 自动对焦； 高斯曲线拟合
中图分类号：TP394．1文献标志码：A 文章编号：1007-2276(2012)07-1784-08
forfastauto·focus
Improvement systemusing
- ·● …
laser
triangulation
Xiaobo，Fan Lianglun
Zhang Fuming，Cheng
of ofTechnology，Guangzhou510006，China)
(FacultyAutomation，GuangdongUniversity
Abstract：Tothe ofindustrial硼盯·LCD inactive
satisfyrequirements inspectiqnsystem auto-focus，a
distance basedonthelaser was withthe
measurement triangulationtheory proposed
approach
mathematical data the inthe
corresponding model．Experimentalanalysisprovesfeasibilitypaper．The
wastoselectashaftoflaserwiththe of808nnlintothe the
approach wavelength opticallight，thenlight
wouldbereflectedfromthesurfaceofthetested totheCCDcameraandforma
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