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第39卷第4期 人 工 晶 体 学 报 v01.39No.4 ::垫!:!兰!星::一==:: ::::!里坚些些塑呈!兰型!旦曼!!墅:墅坚!塑垒堑一::=::一:垒坚壁坠垫!! 电子束蒸发制备Pbl2膜及其光学性能研究 朱兴华,杨定宇,魏昭荣,孙 辉,李乐中,高秀英,杨 军 (成都信息工程学院光电技术学院,成都610225) 摘要:采用电子束蒸发法制备PbI:膜,研究不同工艺参数对制备样品光学性质的影响。结果表明,制备样品属于六 方相多晶结构,随衬底温度的升高,样品中的I元素含量降低并趋于理想化学配比。随着衬底温度的升高,PbI:膜 的光谱透过性能逐渐改善,吸收边沿低能一侧的拖尾逐步消除,源自样品结晶质量的提高。根据紫外一可见透过谱, 计算了不同条件下制备样品的厚度、折射率、吸收系数和光学带隙。结果发现,随衬底温度的升高,制备样品的折 射率和光学带隙出现波动变化,但吸收系数单调增大。在相同的衬底温度下,35cm的源一衬问距下制备的样品具 有最大的光吸收系数,归因于该系列样品较高的致密度。 关键词:PbI:膜;衬底温度;紫外一可见透过谱;吸收系数;光学带隙 中图分类号:TN31M.2 文献标识码:A and of Films PreparationOpticalPropertiesPbl2 by ElectronBeam Technique Evaporation Jun ZHU尉ng—hua,YANGDing—yu,WEIZhao-rong,SUNHui,LI Xiu-ying,YANG Le-zhong,GAO of ofInformation (School Technology,ChengduUniversity Technology,Chengdu610225,China) Optoelectronic 30 12 (Received January2010) November2009,accepted films beam under of electron Abstract:Optical by evaporation propertiesPbl2 deposited technique differentconditionswere XRDresultsrevealthatthe are hexagonal investigated.The preparedsamples structure.TheEDX showsiodinecontentofthe decreasestobe polycrystalline analysis

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