皮秒激光在激光状态方程靶制备中的应用.pdfVIP

第26卷第2期 强 激 光 与 粒 子 束 V01．26，No．2 HIGH LASER 2014年2月 POWER ANDPARTICLEBEAMS Feb．，2014 皮秒激光在激光状态方程靶制备中的应用” 叶君建， 谢志勇， 黄秀光， 方智恒， 舒 桦， 傅思祖 (中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所，上海201800) 摘要： 介绍了激光状态方程靶中金属薄膜台阶的切割方法。采用皮秒激光加工技术切割了宽度百 牡m量级的金属薄膜台阶，研究了金属薄膜台阶宽度控制的方法，讨论了切割过程中产生热效应的因素，优化 了激光加工参数。实验加工中，采用加工的参数：功率为0．5W，脉宽lops，波长355nm，扫描速率为100 mm／s，获得了宽度400 pm和120}im的金属薄膜。测量结果表明，金属薄膜的宽度能精确控制，切割后金属 薄膜表面质量能保持切割前的质量。 关键词：状态方程；靶；薄膜；皮秒激光 0532．13 A 中图分类号： V261．8； 文献标志码： 材料的状态方程是惯性约束聚变(ICF)领域中重要的研究内容，同时在天体物理、星际物理、地球物理、高 密度等离子体及材料科学研究等众多领域具有科学应用价值，国内外开展了广泛的研究[1坩]。激光状态方程实 验研究中靶的构型非常丰富，其厚度一般在几肛m到几十肛m之间，制备的工艺多种多样。如最常用的阻抗匹 配靶，由标准材料基底、标准材料台阶和待测材料台阶构成。英国AWE实验室采用物理气相沉积结合精密掩 模技术[7]，GA公司通过车削结合磁控溅射的工艺[8]，中国工程物理研究院激光聚变研究中心的谢军运用真空 扩散连接技术C9]，而我们则是利用轧制的金属薄膜进行精密微装配[1…。阻抗匹配中的台阶最初采用手工切割 的方法制备，而这种工艺稳定性差，台阶容易变形，需要大量的筛选才能获得极少量合格的台阶。而随着实验 台阶。为研制高质量的台阶，分别调研了微水刀、化学腐蚀和皮秒激光三种工艺切割金属薄膜：微水刀加工的 金属薄膜整体均匀性较好，但台阶的边缘有明显毛刺和突起；化学腐蚀一般适用厚度百肚m以上的金属材料， 十雎ITl左右的金属薄膜整体都溶解在化学液中，不适合这个厚度材料的加工；皮秒激光加工的金属薄膜整体性 和边缘效果较好，这个厚度范围内各种金属薄膜都能加工，同时激光加工技术在金属薄膜切割和ICF靶制备 中有广泛的应用口3‘15]。为此，本文选择皮秒激光加工技术切割宽度为百“m的金属薄膜作为激光状态方程靶 的台阶。 1皮秒激光切割方法 1．1金属薄膜台阶宽度的设计要求 现阶段“神光Ⅱ”装置激光和状态方程实验的条件，激光焦斑的有效区域约800灶m，就决定靶的有效区域 为800“1TI。状态方程所需的多台阶靶由基底以及五种不同金属材料组成，材料包括铝、金、锌、银、铜，厚度一 般几肛m到几十弘ITI之间，纯度99．9％以上，密度为材料的理论密度，如图1所示。物理实验需取五个台阶和 基底共六个区域的数据，为了保证实验的可靠性和精度，尽可能在有效区域取最宽的区域，平均每个台阶宽约 为100耻ITI，由于加工和装配的误差，确定中间三个台阶宽度为120pm，边缘台阶宽度增加虽不影响实验数据， 但考虑材料的利用率与靶制备的方便性，宽度为400肚m。 I．2金属薄膜台阶的切割方法 LASERS皮秒激光器、控制 切割金属薄膜采用德龙公司开发的皮秒激光微加工系统，系统由LUMERA 系统、光学系统、加工平台和显微观测等几部分构成。激光器参数：激光功率为0．5W，脉宽lops，波长为绿光 和紫外可选。加工原理如图2所示，激光器输出光束，经过光路由聚焦镜聚焦，通过显微系统和平台将光束聚 焦在样品表面，同时控制振镜的转动实现激光束的运动从而加工满足一定图形要求的样品。皮秒切割金属薄 膜材料具体工艺如下：将抛光的金属薄膜展平在玻璃基板上，放置在加工平台上；通过CAD软件导入切割的 修订日期：2013—11—04