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第38卷 增刊2 稀有金属材料与工程 V01．38，Suppl．2 2009年 12月 RAREMETAL December2009 MATERIALSANDENGINEERING 脉冲高能量密度等离子体陶瓷刀具表面 改性研究进展 杨义勇1，彭志坚1，苗赫濯2，王成彪1，付志强1 (1．中国地质大学，北京100083) (2．清华大学，北京100084) 摘 要：对刀具涂层技术的发展现状与趋势进行了综述，提出了提高涂层刀具性能的“五化”措施：沉积工艺复合化、 薄膜组成多元化、薄膜结构多层化、薄膜组成和显微结构梯度化、薄膜晶粒纳米化。基于这个思想，提出了用高能量 密度脉冲等离子体技术进行陶瓷刀具表面改性，并在最近几年用高能量密度脉冲等离子体同轴枪对硬质合金和氮化硅 陶瓷刀具进行了镀膜改性尝试。使用该复合表面改性技术，所制备涂层刀具结构独特，很好地满足了“五化”思想， 材料性能得到显著提高。在优化的工艺条件下，所得TiN、TiCN和TiAIN涂层刀具硬度高。纳米硬度分别为26～28GPa、 50—53 GPa和38-40GPa；膜基结合力强，纳米划痕临界载荷达80～110 刀具能够在工业条件下对硬度高达HRC58～62的淬硬CrWMn钢进行干切削，实用切削速度可提高2～10倍，且刀具 2200～2300 磨损较小：涂层氮化硅陶瓷刀具加工淬硬钢和灰铸铁(HB MPa)I件时，比未涂层刀具后面磨损降低6～10 倍。预示该技术是一种非常有前途的陶瓷刀具改性技术。 关键词：脉冲高能量密度等离子体；陶瓷刀具；表面改性 中图法分类号：TB43 文献标识码：A 文章编号：1002．185X(2009)$2．0102．04 随着世界经济的分工与发展，中国逐步崛起为制 成熟。目前工业发达国家涂层刀具已占80％以上，其 造业大国，为我国刀具行业的发展带来了空前的机遇 CNC机床上所用的切削刀具90％以上是涂层刀具。涂 和广阔的舞台；另一方面，经济发展和科技进步，特 层刀具己成为现代刀具的重要标志。 别是航空航天、军事、汽车、能源、模具和电子等工 目前常用的刀具涂层工艺有[31化学气相沉积 业的发展，对制造业提出了更加严峻的挑战：高硬高 强难加工材料使用越来越多、稀有刀具原材料资源接 积技术，两种工艺互有优缺点。CVD硬质涂层工艺主 近枯竭、能源短缺价格攀升、环境污染越来越严重， 要用于硬质合金镀膜，通常在较高温度(750～1000℃) 要求发展吸收了现代信息技术、自动化技术与现代管 下操作，如果使用特殊前驱体可允许较低反应温度。 理技术优秀成果的优质、高效、低耗、清洁、敏捷制 但是，由于环境保护和复杂亚稳定薄膜合成时热力学 造并有理想技术经济效果的先进制造技术。相应地对 需要，这种方法受到限制。与CVD法相比，PVD法对 刀具技术也提出了更高标准，要求进一步提高刀具切 环境更加友好，在热力学上更适合沉积三元和四元多 削性能、精度、效率和可靠性，安全、环保；实现高 组分超硬薄膜；这种方法常常在180～500℃的较低沉 速切削、硬切削、干切削、精密和超精密切削、微细 积温度下操作，可以在不影响基体材料性能条件下对 切削甚至虚拟切削…。 其进行镀膜。但是，PVD法仍然存在沉积速率较低， 涂层刀具技术能将刀具基材高强度、高韧性和涂 薄膜与基体界面层较薄(约为20～30