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腔高对压电液压驱动器性能的影响.pdf
第9卷第6期 纳米技术与精密工程 V01．9No．6
201 andPrecision Nov．201l
1年l1月 NanotechnologyEngineering
腔高对压电液压驱动器性能的影响
王淑云1，阚君武2，马继杰2，温建明2，曾平2，程光明2
(1．浙江师范大学数理与信息工程学院，金华321004；2．浙江师范大学精密机械研究所，金华321004)
摘要：为满足大行程、高输出力精密驱动及振动控制的需求，设计了压电叠堆隔膜泵驱动的压电液压驱动器并进
行了试验．利用实际液体可压缩的特性，建立了压电液压驱动器理论分析模型，分析了液体体积模量以及压电泵腔
高对其输出性能的影响规律．结果表明，其他结构参数确定时压电液压驱动器输出能力随液体体积模量的减小而
mm×80
降低，并存在最佳腔高使其输出能力最大．利用尺寸为4咖×4 mm的压电叠堆制作了泵腔直径30rain、
mm3的液压缸．以水为
高度分别为O．3mill、0．6inln、0．8mm、1．0衄、1．3‘mill的压电泵，用于驱动尺寸为担0×100
V、频率60-400 Hz时，腔高
工作介质，在电压150 Hz条件下测试了驱动器的输出速度及驱动力．工作频率为300
O．6 mm／s，分别为腔高0．3lnffl和1．3mm时的1．1倍和2．28倍；工作频率为80
mm(最佳值)时的输出速度为13．2
Hz时。腔高o．3ram(最小腔高)时的驱动力为105N，是腔高1．3mm时驱动力的2．3倍，说明选取合理的泵腔高度
可有效提高驱动器的输出性能．
关键词：压电叠堆；压电泵；驱动器；液压缸
中图分类号：TH38 文献标志码：A 文章编号：1672-6030(2011)06-0515-06
Performanceof
of on
Influence Height
Pump-Chamber
Actuator
Piezohydraulic
WANG Jun．WU2，MAJi-jie2，WENJian．min92，ZENGPin92，CHENGGuang-min92
Shu．yunl。KAN
ofMathematicsandInformation Nomud
University，Jinhua321004，China；
(1．College Physics Engineering。Zhejiang
2．InstituteofPrecision and Normal 321004，China)
MachineryInstrument。ZhejiangUmversity，Jinhua
for forceand
meettheneedof actuationandvibratio
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