AF2400-SiO2疏水复合光学薄膜制备及其表征.pdf

第 卷第 期 同济 大 学 学 报（自然 科 学 版） ’( * ]60’(F0* 年 月 （ ） !% * X@PYF,Z@AB@F[X\PF\]1Y?\B^ F,BPY,Z?Q\1FQ1 XT60!% ! ’() 疏水复合光学薄膜制备及其表征 #$%% # 汪国庆，沈 军，谢志勇，吴广明 （同济大学 物理系，上海 ） !)! 摘要：采用溶胶 凝胶工艺制备低折射率二氧化硅（ ）增透薄膜，用 （ ）对薄膜进行表面处理得到 $ ?5@ ,A BC6D6 ! !( 疏水复合光学薄膜 对薄膜的表面形貌、疏水性能、光学性能等进行测试，结果显示 复合 ,A $?5@ 0 ,A $?5@ !( ! !( ! 光学薄膜表面平整，折射率为 ，疏水角可以达到 0! E !E0 关键词：光学薄膜；制备；溶胶 凝胶工艺； 疏水减反复合薄膜；无定形氟聚合物 $ ,A $?5@ ,A !( ! !( 中图分类号： ； 文献标识码： 文章编号： （ ） BF!() @(+(0( , !#’$’*(G !%*$)!($( !# %%’()%)*!#+(,%)-#(+.#/ *( .(1’-2)’3#+4#-’() $ 0 $ 25 $6’7 8(, (9’#5’4, !( ! $ ， ， ， !#$$%() +,-#.%) /0-12() !4 $%5)6() ’ * 3 * * * （ ， ， ， ） HC4IJ3CJDKL85=8 B 5P5:CI85J ?L4L45!)! QL54 ; M NO M N ： 219%- ,J5ICD6C=J5:C?5@ =4J5 58 IC4ICRS5JL4862C6ITJC4RR5=4J5 4RJLC8TID4=CD