现代检测技术 李英顺 教学课件 第8章.pdfVIP

一、压电效应 二、压电元件 三、接口电路 四、压电式压力传感器 压电式传感器的工作原理是以某些物质的压电效应为基础， 压电效应是可逆的。因此，压电式传感器是一种典型的“双向 传感器”。 压电式传感器具有使用频带宽、灵敏度高、信噪比高、结 构简单、工作可靠、质量轻、测量范围广等许多优点。因此在 压力冲击和振动等动态参数测试中，是主要的传感器品种，它 可以把加速度、压力、位移、温度、湿度等许多非电量转换为 电量。 压电转换元件的主要缺点是无静态输出，阻抗高，需要低 电容的低噪声电缆，很多压电材料的工作温度只有左右。 一、压电效应 （一）压电效应 某些电介质，当沿着一定方向对其施力而使它变形时， 内部就产生极化现象，同时在它的两个相对的表面上便产 生符号相反的电荷；当外力去掉后，又重新恢复不带电的 状态；当作用力的方向改变时，电荷的极性也随着改变。 晶体受力所产生的电荷量与外力的大小成正比，上述这种 现象称为正压电效应。 当在电介质的极化方向上施加电场时，这些电介质会产生 变形，外电场撤离，变形也随着消失，称为逆压电效应， 也称为电致伸缩效应。 具有压电效应的物质很多，常用压电材料如天然形成的石 英晶体、人工制造的压电陶瓷等。 （二）石英晶体的压电效应 石英晶体是最常用的压电晶体之一，它是一个正六面体， 在晶体学中可以把它用三根互相垂直的轴来表示，其中纵向轴z 称光轴；经过正六面体棱线并垂直于光轴的x轴称为电轴；与z 轴和x轴同时垂直的y轴(垂直于正六面体的棱面)称为机械轴。 将沿电轴x方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“纵向压 电效应”。 而把沿机械轴y方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“横 向压电效应”，而沿光轴z方向受力时不产生压电效应。 图8-1 石英晶体的外形与晶轴  当晶片在沿x轴的方向上受到压缩应力 作用时，晶片将产 x 生厚度变形，并发生极化现象。在晶片的线性弹性范围内，极化强 P  度 与应力 成正比，即： x x d F P d  11 x x 11 x lb F d 式中， 为沿晶轴x方向施加的压缩力； 为压电系数，当受力方 x 11 12 1 向和变形不同时压电系数也不同，石英晶体的 d11 2.310 CN ； l、b 分别为石英晶片的长度和宽度。 压电系数dmn 的下标mn的意义是：m表示产生电荷的面的 轴向，n表示施加作用力的轴向。在石英晶体中，下标1对应x轴， 2对应y轴，3对应z轴。 qx P P 极化强度 等于晶片表面的电荷密度，即： x x lb q 式中， x 为垂直于x轴平面上的电荷。 d F 把P 值代入 P d  11 x 得：P d F