喷雾热分解法制备掺杂SnO2电热薄膜及其电热性能.pdfVIP

第32 卷第9 期 硅 酸 盐 学 报 VOI . 32 ，NO . 9 2 0 0 4 年9 月 JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY September ，2004 ～～～～二 ～ 二 ～ 简 报 ～ 喷雾热分解法制备掺杂SnO2 电热薄膜及其电热性能 二 ～ 二～～～～ 赵 鹏，郝喜红，许启明，田晓珍，姚燕燕 （西安建筑科技大学材料科学与工程学院，西安 7 10055 ） 摘 要：以SnCI ·5H O ，SbCI 和ZnO 为原料，采用喷雾热分解法在石英和陶瓷基材上制得了阻温特性良好的掺杂的SnO 导电发热薄膜。用 4 2 3 2 X 射线衍射，扫描电镜对薄膜进行了结构表征。研究了Sb ，Zn 的不同掺杂浓度及热处理温度对薄膜电阻特性的影响。实验结果表明：当三氯 化锑和氧化锌掺量摩尔分数分别为8. 2% 和17 % 时，薄膜的方阻R 回 为32!/ 回 。 关键词：氧化锡薄膜；喷雾热分解；电热特性 中图分类号：O 484 文献标识码：A 文章编号：0454 5648（2004 ）09 1157 04 PREPARATION OF SnO THIN FILMS BY SPRAY PYROLYSIS PROCESS AND ITS 2 ELECTRIC HEATIN PROPERTY ZHA O Peng ，HA O Xihong ，X U Oiming ，TIAN Xiaozhen ，YA O Yanyan （COIIege Of MateriaI Science and Engineering ，Xian University Of Architecture and TechnOIOgy ，Xi an 7 10055 ，China ） Abstract ：The dOped SnO2 thin fiIms with weII resistance temperature characteristic were prepared On guartz gIass tube and ceramics substrates thrOugh spray pyrOIysis prOcess by using SnCI ·5H O ，SnCI and ZnO as raw materiaIs. The structure and surface mOrphOIO- 4 2 3 gy Of the thin fiIms were characterized by means Of XRD and SEM. The effects Of Sb and Zn dOping cOntents and the anneaIing treat- ment On resistance Of the SnO2 thin fiIms we