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氧分压对BiFeO3薄膜能带结构和折射率的影响及其光学表征.pdf
氧分压对BiFe03薄膜能带结构和折射率的影响及其光学表征’
宋贵芝,陈长乐,罗炳成,周超超
(西北工业大学凝聚态结构与性质陕西省重点实验室,陕西西安710129)
摘 要: 采用射频磁控溅射在玻璃衬底上制备了 酸为分散剂。为防止Bi挥发,制备过程中多加5%
BiFeO。薄膜,通过透射光谱和椭圆光谱研究了氧分压mol
对BiFeO。薄膜能带结构及光学性能的影响。结果表
明,BiFeO。薄膜在近红外区具有良好的透射性,透射
率均在80%以上,其禁带宽度E。=(2.79±0.03)eV。薄膜沉积过程中衬底温度保持为Ys一530℃,本底真
随着氧分压的增大,BiFe03薄膜中氧缺陷及氧缺陷能
级减少,导致透射率和禁带宽度均增大。同时发现, 比例混合的()。和Ar,气压保持在5Pa。
0JL色散模型与Cauchy色散模型的叠合能够对
BiFeO。薄膜的椭圆光谱进行很好的描述。
关键词: 多铁材料;椭圆光谱;OJL色散模型
中图分类号:0484 文献标识码:A
文章编号:1001-9731(2010)05-0899-04
1 引 言
70。,起偏角45。,波长范围为450~900nm。
多铁材料由于具有丰富的物理内涵及其在存储
3结果与讨论
器、光学元件等器件中的广泛应用,已成为凝聚态物
3.1
理、材料物理等领域的研究热点之一[1~6]。早期的多 结构分析
铁性研究集中于复合材料方面[5“],随后在YMno。,
TbMn03,BiFe03及BiMn0。等单相多铁材料口’81发图中可看出,靶材为纯相BiFeO。,而薄膜衍射峰不明
现了多铁性,其中BiFeO。因具有室温以上的铁电有序显,说明在玻璃衬底上沉积的薄膜样品为非晶结构。
和磁有序(铁电转变温度L约1103K,反铁磁转变温
度丁。约643K)[9
010]而成为目前最受关注的多铁材料
之一。室温下BiFeO。为畸变菱形钙钛矿结构(口=6= j
墨
c=0.563nm,Ot=口=’,=59.4。),磁结构为空间调制的
重
不均匀反铁磁序,宏观上表现弱磁性【11|。BiFeO。的研 罢
究主要是在铁电性和磁性两方面,而对其光学性能的
研究较少Ll2|。Ihlefeld等研究了BiFeO。薄膜的二次
谐波效应E13],Kumar等用椭圆偏振光谱仪对BiFeO。
5]
薄膜的光学性质进行相关研究D4]。此外,Palkar等[1 j
是
认为在沉积过程中,BiFeO。薄膜对氧分压十分敏感, 置
。丽
氧分压的偏差会导致铁离子从3价降低到2价,从而 C
卫
产生大的漏电流。本文通过透射光谱和椭圆光谱来研 三
究氧分压对BiFeO。薄膜能带结构和折射率的影响。
2 实验过程 201(。)
图1 BiFe0。靶材和薄膜的XRD衍射图
1 XRD of andfilm
利用射频磁控溅射在玻璃衬底上制备BiFeO。薄 Fig patternsBiFe03target
3.2透射光谱分
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