大型非球面测方法及数据处理研究.pdfVIP

内容摘要 大口径非球面光学器件加工和检测都具有很大的难度，尤其是大口径非球 面检测这一薄弱环节，已经成为制约其应用和发展的“瓶颈因素之一。 对于精磨阶段的“粗糙表面，其面形加工精度为岬级，超出了干涉仪的 垂直测量范围，且测量时通常只需考虑低频的面形误差，因而面形轮廓法是该 阶段最适用的测量方法。在面形轮廓法中，工作台材料与结构、进给方案、驱 动方式等问题是影响测量精度的关键因素。针对上述问题，研究了大尺寸光学 器件的精密检测平台。采用性能稳定的大理石作为主要结构材料，搭建成固定 桥式结构；采用平板直线电机作为驱动机构；设计了接触式和非接触式检测系 统。分析了检测平台的机构误差、单项几何误差等几种误差对检测结果的影响， 并通过实际测量评定，获取可靠的补偿数据，为后期的数据补偿提供依据。 对于抛光阶段的大口径光学器件，检测标准有很大提升，突出体现为全口 径、全波段面形误差的检测。此时，全口径与高分辨率这一矛盾成为干涉测量 的主要矛盾，目前解决这一矛盾最有效的方法是子孔径拼接干涉法，拼接算法 是其中的关键的问题之一。针对这一问题，进行了散乱点云的三维拼接研究。 重点研究了采样错移情形下对应点的快速鲁棒搜索方法，完成了一套有效的搜 索算法，提高了拼接效率，为拼接方