大气压射频质阻挡辉光放电的数值模拟研究.pdfVIP

幕季天学 慨趾啊t住躐竹 O 大气压射频介质阻挡辉光放电的数值模拟研究 大气压射频介质阻挡辉光放电的数值模拟研究 摘要 大气压下辉光放电具有广泛应用价值，尤其是在表面改性，半导体 刻蚀，薄膜制备，生物灭菌等领域，此类等离子体源无需真空条件， 在大气压下加载千赫兹到兆赫兹射频电源就能产生。在射频条件下， 由于电子和等离子体中产生的活性粒子被限制在主等离子体区。所以 能够获得持续稳定的放电。 影响大气压射频介质阻挡放电的因素主要包括：1．阻挡介质材料 特性，放电间隙大小，电极的形状等。2．激发源不同，包括重复频 率，波形等。3．放电环境的影响，由于是大气压非真空下的放电， 所以不同杂质气体对放电有影响，还包括气压变化，流速等。由于大 气压等离子体的特殊性，目前很难测量等离子体中的微观特性，所以 关于其放电机理还在研究中。为了更进一步的了解放电特性和机理， 本文通过数值模拟的手段来研究放电特性在不同条件下的变化。 低温等离子体是一个由多种带电粒子组成的复杂系统，涉及粒子的 动力学，扩散和输运方程，麦克斯韦方程组，还有很多表面反应，所