大气压针—dbd发射光谱的斯塔克展宽特性.pdfVIP

中文摘要 摘要 非平衡等离子体已经被广泛应用于环境保护、材料表面改性、微电子工业、纳米材 料制备、新能源开发、辐射光源等诸多工业领域，对等离子体进行诊断有助于我们了解 其内部粒子成分及含量、热力学温度和能量分布等参数，获取其中碰撞、能量传递、解 离、电离和运输等微观物理过程的相关信息。但目前每种诊断方法都存在局限性，还没 有适用于所有体系的方法可供利用，发射光谱法作为一种不介入放电体系、可以进行实 时检测的方法深受研究人员的青睐。 本文结合国家自然科学基金项目“大气压非平衡等离子体时空尺度效应研究(项 目编号，在针．板介质阻挡放电结构中得到了单个微放电通道。对微放电 的电学特性与光辐射特性进行了简要的对比分析，在空气中加入少量氩气，利用单色仪 采集ArI418．188nm谱线，经过数学上非线性最小二乘法、单纯型算法和LM算法对实 验数据进行迭代拟合分离出洛伦兹展宽和高斯展宽，最终得到斯塔克展宽，进而计算了 电子密度，数量级在1015cm-3，实现了将斯塔克展宽法诊断电子密度应用到我们窄间隙 的实验体系中，建立了可行的诊断方法。 本文通过谱线的斯塔克展宽特性对电子密度进行诊断，发现斯