太阳能电池口层纳米硅薄膜的制备及其光电性能的研究.pdfVIP

摘要 太阳电池是一种新型的光电器件，人类可以通过它利用清洁的太阳能。对太阳电池 材料的研究一直是许多光伏人研究的热门课题。其中对太阳能电池窗口层材料的研究也 许多科研人员关注的课题之一。当前的太阳电池中常见的窗口材料有a．Si：H薄膜材料、 目前郁被尝试用于某种硅薄膜太阳电池，但在某些方面，比如光学带隙、透过率、电导 率等性能方面都有或多或少的不足。 纳米材料作为最近二、三十年兴起的一种新型两相结构材料逐渐吸引了科研人员的 目光。近几年来，纳米硅薄膜的宽带隙、高透过率、高电导率等优点己被研究人员所证 实，它在太阳电池方面的应用研究也正逐渐展开。已有人将纳米硅薄膜用作太阳电池的 本征层，但把它作为窗口层的研究还比较少。本文制备一系列纳米硅薄膜，并对其结构 及光电性能进行了深入分析和研究，探索其作为太阳能电池窗口层的可行性，本文主要 开展了一下几个方面的工作： 1．利用脉冲激光沉积系统，通过改变沉积参数，制备了一系列纳米硅薄膜。 2．通过分析样品的Raman谱、XRD谱等计算出薄膜中品粒的大小，晶粒在薄膜中 所占的体积分数。 3．根据PLD系统的沉积原理，分析了纳米硅薄膜的形成原因。 4．根据样品的透射谱得出了不同条件下制备的纳米硅薄膜的