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《利用场致子发射技术研究表面扩散》

摘要 场发射电流涨落信息的获取是利用场致电子发射技术对表面扩散等重耍现 象进行研究的关键。“图象法”是一种全新的获取场发射电流涨落信息的方 法。本文一方面从理论上对“图象法”的可行性进行了论证,另一方面从实践 上对用以实现“图象法”的光电系统中各器件的性能参量进行了定量计算。结 果表明,“图象法”在理论上是完全可行的,在实践上由于受器件发展水平的 制约,暂时只能研究低速表面扩散现象。 关键词: 表面扩散、场发射电流、涨落、场发射图象 Abstract as on surtace phenomena,sucb The ofstudymany physical key iS field emiSSiontechniqueobtaining field ;urfacediffuSion,with iSa Method” newlypresented fluctuations !missioncurrent ‘’Image S Inthi feasibility nethodfor thefluctuationspaper,the obtaining in ofthe methodlS properties thenew theory,and )f analyzed newmethodareevaluated to the systemimplement 3ptical—electronic iS S thatthenewmethod resulthave suggested quantitatively.The the levelofdeviceslimitSitsresearch feasible,thoughpresent Scope Fords: Key current emission surface emission images diffusion,field fluctuations,probe,field

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