超短波软x线多层膜研究.pdfVIP

上海更通大学博士后出站报告 两年研究工作概要 短波段软x射线多层膜可广泛地应用于同步辐射、空间望远镜、软x射线显 微镜、软x射线激光、x射线微探针荧光分析、等离子体诊断等多个领域。因此 研究软x射线多层膜对其它相关科学的发展是有很大的现实意义。 国内研究软X射线多层膜存在的主要问题有：基础理论研究薄弱，基本理 论仍然以可见光光学薄膜理论为基础，没有对短波软X射线在薄膜中的反射机 制进行系统的物理描述：二是多层膜材料配对研究范围小，基本上是属于跟踪性 质的研究，没有自己的创新思想：三是测量技术落后。 本课题的研究主要解决以下几个问题，一是研究短波段软x射线在材料原 子中的反射机制，以此为基础完善多层膜材料配对理论；二是寻找软X射线短 波段新材料配对，使之理论上有比较高的反射率；三是研究测量光能量分辨率对 多层膜测量反射率的影响。 通过本课题的研究，我们主要取得以下几项具有创新的研究成果：(1)提出 了短波段软x射线在材料原子中的反射理论，以此为基础进一步完善了短波段 软X射线多层膜材料配对理论。(2)发现了新的材料配对～Sb怒多层膜在各种 入射条件下都比较高的理论反射率。(3)关于测量光能量分辨率对多层膜测量反 射率的影响，我们进行了相当详细的研究并建立比较完整的数学模型。研究结果 表明：如果入射光为非单色光，多层膜的设计波长处反射率比单色光获得的反射 率低，而多层膜非设计波长处，非单色光获得反射率比单色光获得的反射率高。 如果测量光能量分辨率相同，长波软X射线多层膜反射率受到的影响相对较小， 而短波多层膜反射率受到影响相对较大。即设计波长越短的多层膜，其测量反射 率对光的单色性越敏感。对于确定的软X射线多层膜，对入射光能量分辨率有 ～个极限值要求，低于极限值，多层膜反射光曲线在一定范围内是一条直线，没 有反射峰产生。(4)提出了根据测量反射率拟合入射光能量分辨率并以此判断多 层膜实际反射率的方法。 通过两年的课题研究，在上述领域取得了一些开拓性的研究成果，推动了本 课题研究的向前发展，同时提高了我的科研水平，扩大了知识面，为以后的工作 打下了很好的基础。 上海交通大学博士后出站报告 1前言 1．1X射线反射镜的用途 短波段软x射线多层膜可广泛地应用于同步辐射、空间望远镜、软x射线 显微镜、软x射线激光、x射线微探针荧光分析、等离子体诊断等多个领域。软 X射线短波多层膜反射镜是实验室测量激光核聚变能量的关键元件之一，从而引 起各国政府的高度重视，所以倍受关注。该波段的反射元件也是我国国防建设急 需的关键元件之一，对于精确确定实验室模拟核爆炸当量有非常重要的意义；高 能物理研究中利用其反射特性实现远距离中子传输，便于进行相关科学实验研 究；另外它还可以运用于微量元素的检测等。因此短波段软X射线多层膜研究 对相关科学研究的发展有非常重要的意义。 1．2国际研究现状 进入20世纪80年代以后，随着超精加工技术和纳米级薄膜制备技术水平的提 高，软x射线多层膜有了突破性的进展。人们在理论、制备技术、工艺及检测等 方面均做了深入细致的研究，取得了显著成果。目前世界上已有多家研究小组能 制备出性能优良的正入射软X射线多层膜。在较长波段(^10rtm)，正入射多层 膜反射镜的制作已趋于成熟，在13nm处采用电子束蒸发离子束辅助抛光方法获 得了69％、磁控溅射方法获得了68％、离子束溅射方法获得了66％的正入射反射 镜1一，其结果接近理论值。在更长的25-30rim波段，用离子束溅射制c／si多层膜 反射率25％3。在较短波段，由于软X射线多层膜膜层很薄，此时对基片表面粗 糙度和膜厚控制精度要求极为苛刻，进展也较为缓慢。日本科学家用合金CoCr／C 获得了11．3％的测量反射率4；另外用Ni／C组合在波长为2．73rim处在掠入射条件下 C／Sr多层膜获 获得的测量反射率达N40％5：在水窗波段的3．1lnm处，文献报道6 得7％测量反射率：实验研究表明C／qi多层膜在波长2．77rim和在入射角为59。时获 得1l％测量反射率7。用钨与其它材料配对已获得相当的进展8，在掠入射条件下 获得7～20％测量反射率。简言之，国外在软X射线短波段多层膜研究已经取得一 定的进展，部分元件