小型等离子清洗／刻蚀机的应用.pdfVIP

维普资讯 j 电子 工 业 毫 用 设 苗 · 专题报道 · Jlx型 等 离 子 清 洗 蚀 机 的 应 用 郑亮，唐明 (北京嘉润通力科技有限公司北京 100088) 摘 要：综述了等离子体产生的原理，小型等离子清洗 ／刻蚀机的特点，在各加工行业的应用，特别 是在科研机构发挥了举足轻重的作用，包括等离子清洗、刻蚀、等离子镀 、等离子涂覆、等离子灰 化和表面改性等。论述了小型等离子清洗 ／刻蚀机在TEM、SEM 、电镜等方面的特殊应用。并讨论 了等离子处理对于产品的可靠性和过程效率的提高是 目前最理想的技术及其优势。 关键词：等离子清洗：刻蚀：表面处理 中图分类号：TN305．97，TN305．7 文献标识码：A 文章编号：l004-4507(2004)一09-0033—06 ApplicationofSmallPlasmaCleaning／EtchingInstruments ZHENGLiang，TANGMing (BeijingJRPowerTechCo．，Ltd，Beijing100088，China) Abstract：Theprincipleofplasma，characteristicsandapplicationsofsmallsizedplasmainstrumentsrae introduced，especiallyitscrucialfunctionsinscientificresearches：Cleaning，etching，coating，ashingand surfacemodification．SpecialusesonTEM andSEM areexpatiated．Th euniquefunctionandadvantages thatcannotbereplacedinmodernresearchworkarediscussed． Keywords：Plasmacleaning；Plasmaetching；Surfacemodification 1 等离子原理 实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距 及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场 典型的等离子的组成是电子、离子、自由基和质 作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这时会发出辉 子，从电磁辐射的应用以低压产生到气体容积中。就 光，故称为辉光放电处理 (见图1)。辉光放电时的 好象把固体转变成气体需要能量一样，产生离子体 气压大小对材料处理效果有很大影响，另外与放电 也需要能量。一定量的离子体是由带电粒子和中性 功率，气体成分及流动速度、材料类型等因素有关。 粒子 (包括原子离子和 自由粒子)混合组成。离子体 这种等离子体的显著的特征： 能够导电，和电磁力起反应。 (1)气体产生辉光现象，常称为 “辉光放电”。 小型等离子清洗垓0蚀机产生等离子体的装置 由于是真空紫外光，其对蚀刻率有十分积极的影响； 是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵 (2)气体中包含中性粒子、离子和电子 (见图2)。 收稿 日期 ：2004—08—06 作者简介：郑亮 (1968-)，男，高级工程师，1991年毕业于清华大学机电工程系，长期从事先进加工技术的开发和研究。 (总第116期)⑧ 维普资讯 电 孑 工 业 · 专题报道 · EqⅡ