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原子力显微镜 小组成员：张翔 张尧 原子力显微镜的历史 原子力显微镜(AFM)也称扫描力显微镜，是针对扫描隧道显微镜不能直接观测绝缘体表面形貌的问题，在其基础上发展起来的又一种新型表面分析仪器。 由于STM分析材料只限于导体和半导体，在1986年，由IBM公司的Binnig和Quate发明了原子力显微镜利用探针针尖和欲测试样品间的范德华力的强弱，得知样本表面起伏高低和几何形状，由于其没有使用STM的电子隧道效应原理，因而样本可以为导体和非导体，解决了STM在材料上的限制。 基本原理 将一个对微弱力极敏感的微悬臂一端固定，另一端有一微小的针尖，针尖与样品表面轻轻接触，由于针尖尖端原子与样品表面原子间存在极微弱的排斥力，通过在扫描时控制这种力的恒定，带有针尖的微悬臂将对应于针尖与样品表面原子间作用力的等位面而在垂直于样品的表面方向起伏运动。 基本原理 当扫描样品时，激光可测量微悬臂的弯曲变形。在x、y、z位置上的扫描通过压电转换器显示。计算机系统控制xyz位移，记录反射的激光信号，专用软件处理这些数据，构成样品形貌图。 原子力显微镜 优点 ： AFM提供真正的三维表面图。