摘要
单片光电集成(OEIC)是实现高速大容量光通信的根本出路,与混合集成
光接收机相比,单片CMOS光电集成接收机不仅可以大大降低接收机的成本,
而且最大限度地消除了封装和模块间互连所产生的寄生元件及外界环境的电磁
干扰和噪声,提高了接收机的性能。同时该技术还具有体积小、成品率高、可靠
性好和可以实现更为丰富的电路功能等优点。
光电探测器、前置放大电路等模块均是光纤通信用光接收机不可缺少的重要
组成部分。本文采用标准CMOS工艺实现了两种高速光电集成接收机。对于标
准CMOS光电集成接收机的各个模块,论文分别进行了理论分析,结构、电路
和版图设计:研究了硅基光电探测器的结构,并采用CharteredEEPROM
0.35pro
标准CMOS工艺实现了一种频率响应达到1GHz的叉指型P+/N阱/P型衬底的光
电探测器;研究了补偿技术,并设计了两种补偿电路:有源电感峰化电路和高通
滤波器叠DNII,偿电路;研究并设计实现了两种高速跨阻前置放大器,即差分共源
跨阻前置放大器和RGC前置放大器。
在此基础之上,基于CharteredEEPROM标准CMOS工艺,设计了
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