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《光电测量技术》(第七章).ppt
* 3、轮廓像偏移的光焦点测量法 1)像点轴上偏移光焦点法 光焦点法是以聚焦光斑光密度分布的集中程度来判断物的轴向位置的方法。 光缝法、刀口法、像散法 * 此法的分辨力可达1nm级 * * 通过光电器件所接收的光能大小来判断物面是否处于焦面位置上 根据光阑处的位移—光通量特性给出物的轴向位置 共焦显微镜的横向分辨力为 * 3、轮廓像偏移的光焦点测量法 2)像点轴外偏移光焦点法 像点轴外偏移光焦点法是一种三角方式的轴向位移测量法 此方法测量范围可达几百mm,分辨力为1μm * 3、轮廓像偏移的光焦点测量法 2)像点轴外偏移光焦点法 此方法测量范围比漫反射法小,分辨力为0.1μm * 三、亮度中心检测法 1、象限检测器法 2、象限分解法 光辐射的亮度分布是光能量沿空间的分布 其中心位置部分称为亮度中心B0 B(x)为目标的亮度分布函数 * 脉冲式激光测距系统 发散光学系统倍率的选取,视情况而定 此倍率就是发散角被压缩的倍率 倍率大,外形尺寸也要增大,会带来一些限制 一般的测距,发散角不小于1mrad 高精度、超远距测距,光束发散角可在0.1~1mrad 光学系统目镜和物镜的选取要以激光束全部通过为原则—目镜通光孔径略大于激光光束直径 * 脉冲式激光测距系统 激光接收系统 * 脉冲式激光测距系统 为了尽可能将目标反射回来的激光能量会聚到探测器上 要适当限制接收视场,以减少杂散光的干涉来提高接收的灵敏度和信噪比 提高测距系统的测距精度和作用距离 在接收器前面加上光学系统 * 脉冲式激光测距系统 接收光学系统常用牛顿型、卡塞格林、格里高里、折反射型、伽利略和开普勒望远系统 接收光学系统的选型主要取决于光电探测器的类型和系统对接收系统体积的限制 * 脉冲式激光测距系统 加入特殊元件,可以提高激光测距系统、激光雷达的性能 提高接收装置的灵敏度,增大作用距离 提高瞄准跟踪精度,扩大增益范围,改善体积 特殊光学元件 * 脉冲式激光测距系统 1、滤光片 降低背景光噪声、提高接收装置的信噪比是激光测距、激光跟踪雷达的重要问题 滤光片的种类:选择性吸收滤光片、选择性散射滤光片、选择性折射滤光片、偏振滤光片等 实用的滤光片大多采用基于多层膜反射干涉原理而工作的干涉滤光片 * 脉冲式激光测距系统 干涉滤光片的中心波长与它对光源的倾角有关 设计时应保证能够微调干涉滤光片的倾角,使其的中心波长正好对应激光信号的中心波长,以获得最佳信噪比 一般的激光测距系统,选用半宽度在30?~40?范围的滤光片较合适 * 脉冲式激光测距系统 2、衰减片 测量不同远近的目标时,激光的回波能量也不同 若激光回波能量太强就会烧毁探测器 因此需要在接收装置中加入衰减片来限制激光能量 衰减片是在接收系统中实现光学自动增益的光学元件 * 脉冲式激光测距系统 常用衰减片的形式: 迭层衰减片:衰减片由具有吸收特性的光学材料制成,衰减量的选择是阶梯式的 双光楔衰减片:利用具有对光吸收性质的材料制成,衰减量可以实现连续的透过率变化 变密度盘:利用镀膜的方法制成 * 脉冲式激光测距误差分析和测距精度 测距误差源 * 脉冲式激光测距误差分析和测距精度 激光主波和回波信号对计数器的取样脉冲部位差 测距系统的固定光延时 * 脉冲式激光测距误差分析和测距精度 提高脉冲激光测距精度的主要途径 测距精度由大气折射、晶振频率、非真空光速、晶振频率稳定度、计数器的分辨率、主波与回波各经不同的线路等因素影响 采取的措施: 1、提高计数器频率 2、时间内插法 3、采用恒比定时技术 4、质心探测电路 * 一、几何中心检测法 第四节 随空间变化的光电信号变换与检测 几何中心检测法用于光强随空间分布的 光信号位置检测,也称为光学目标定位 光学目标:不考虑被测对象的物理性质,而只把它看成与背景有一定反差的几何形体或景物 * 第二节 随空间变化的光电信号变换与检测 复杂图形景物:结构细密、空间频率高、亮度等极为丰富,对其测量的目的在于研究图形的细节和层次 简单光学目标:由点、线、面等规则图形组成,测量的目的在于确定图形相对于基准坐标的角度或位置偏差,被称为空间定位 * 简单光学目标 如:刻线、狭缝、十字线、光斑、方框窗口等 光学目标的信息采集通常用光学成像方法来完成,如:望远、准直、摄像、显微等系统 * 光学目标和其衬底间的反差形成物体表面轮廓 轮廓中心位置称为几何中心 通过测量与目标轮廓分布响应的响空间轮廓分布来确定物体中心位置方法为几何中心检测法 其特点: * 像分析和几何参量调制 像分析:通过对目标的像的几何中心相对基准的偏移来确定该物体在空间位置的方法 像分析器:将像相对基准位置的偏差信息变换位于基准位置有关的某一取样窗口光通量,在通过测量光通量的变化来确定物体的坐标位置 * 像分析
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