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应用于THz源地光纤激光器和高性能光电探测器.pdf 118页

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华 中 科 技 大 学 博 士 学 位 论 文 analyzed, which takes advantage of the merits of both UTC-PD and photoconductors with ultrashort carrier lifetime, but solves the problems of large dark current of photoconductors and slow diffusion process of UTC-PDs. (5 )High responsivity photodetectors with resonant cavity enhancement (RCE) and nano-pillar are theoretically and experimentally studied. A special double-cavity RCE detector is designed and analyzed, which carries high quantum efficiency and narrow-band detection spectrum. A novel nano-pillar detector is invented for weak light detection, which not only has very high internal gain, but also overcomes the shortcomings of avalanche photodiodes (APD), such as high bias voltage, hot carrier crosstalking, etc. The nano-pillar detector is theoretically analyzed and numerically simulated by the commercial semiconductor simulation software DESSIS. The process flow is designed, the key process technologies are studied, and parts of the process are finished. Key words: THz generation Photomixing Erbium doped fiber laser Dual-wavelength Single-longitudinal-mode High performance photodetector IV 独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研 究成果。尽我所知,除文中已经标明引用的内容外,本论文不包含任何其他个人或 集体已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体,均已在 文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。 学位论文作者签名: 日期: 年 月 日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定,即:学校有权 保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版,允许论文被查阅和借阅。 本人授权华中科技大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检 索,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。 保密□, 在 年解密后适用本授权书。 本论文属于 不保密□。

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