《电池片加工过程.》.pdfVIP

硅棒硅棒 切方切方 滚圆滚圆 清洗清洗 整理分批整理分批 粘胶粘胶 出料出料 下料 切削液收集切削液收集 热除胶热除胶 检验检验11 检验检验22 检验检验33 线线 11.11太阳能电池片生产工艺流程太阳能电池片生产工艺流程：： 概述概述 一次清洗 扩散 等离子刻蚀 印刷电极印刷电极 PECVD 二次清洗次清洗 烧结烧结 分选测试分选测试 包装入库包装入库 一次清洗 2.2.33一次清洗工艺流程次清洗工艺流程：： 硅片检验 硅片插合 上料 漂洗漂洗 制绒面制绒面 去损伤层去损伤层 喷淋 HF酸 漂洗 喷淋 漂洗 HCl酸 慢拉 干燥 检测 图8 一次清洗工艺流程 一次清洗 2.1一次清洗的目的： a.a.清除硅片表面的油类分子及金属杂质清除硅片表面的油类分子及金属杂质。。 b.去除切片时在硅片表面产生的损伤层。 硅片 机械损伤层（10微米） 图2 单晶硅表面损伤层去除 一次清洗 制备绒面的目的及机理制备绒面的目的及机理： 减少光的反射率，提高短路电流（Isc），最终 提高电池的光电转换效率提高电池的光电转换效率。 解释机理： 当光入射到当光入射到一定角度的斜面定角度的斜面，，光会反射到另光会反射到另一角角 度的斜面，形成二次或者多次吸收，从而增加吸收率。 图图55 绒面减少反射的机理绒面减少反射的机理 • 绒面质量分为4个等级，分别为优、良、中、 差。 • 优优：：绒面连续均匀绒面连续均匀、、细腻细腻。。 • 良：绒面连续均匀、大小适中。 • 中：绒面连续、但不均匀，尺寸偏大。 •• 差差：：绒面不连续绒面不连续、不均匀不均匀、尺寸大小不尺寸大小不一。 判定方法： •• 优优:: 每片连续五个视野范围内绒面连续每片连续五个视野范围内绒面连续、均匀均匀、细腻细腻， 评为“优”级。 • 良良: 每片连续五个视野范围内绒面连续每片连续五个视野范围内绒面连续、、均匀均匀、、大小适大小适 中，或者五个视野范围内绒面有至少三个（包括三个）绒 面连续、均匀、细腻者，评为“良”级。 • 中中: 每片连续五个视野范围内绒面连续每片连续五个视野范围内绒面连续、均匀均匀、尺寸偏尺寸偏 大，或者五个视野范围内绒面有至少三个（包括三个）绒 面连续面连续、、均匀均匀、、大小适中者大小适中者，，评为评为 “中中”级级。。 • 差: 每片五个视野范围内三个以上（包括三个）绒面不 连续、不均匀、尺寸大小不一者，评为“差”级。 2.5一次清洗各槽位腐蚀原理 一次清洗 1#槽位：热的NaOH溶液去除表面切割损伤层，反应 如下： Si+2NaOH+H O =Na SiO +2H