单晶硅制备工艺.pptVIP

放肩与转肩 放肩：引晶达到规定长度后，如果晶棱不断，立刻降温并降低拉速，使细颈逐渐长粗到规定的直径，此过程称为放肩。 要求：1、放肩的起始部分宜慢，之后应适时降温，使放肩生长平滑，防止肩部呈台阶状。2、放肩拉速在0.3-0.5之间。 转肩：待晶体长到规定直径时（小于要求直径约5mm时，即可开始转肩） 缓慢提高拉速，使其平滑过渡，肩部近似直角。 要求：转肩前需进行预降温，一般降低2-4℃ 转肩速度为2-4mm/min，根据现场放肩快慢而定。 转肩过程中适时跟上少量埚升。转肩完成后，埚升调整到位。 转肩完成后，检查等径参数，投自动控制。 等直径生长和收尾 原理： 单晶的等直径生长中，随着单晶长度的不断增加，单晶的散热表面积也增大，散热速度也越快，单晶生长界面的温度会降低，使单晶变粗。另一方面，随着单晶长度的增加，熔硅逐渐减少，坩埚内熔硅液面逐渐下降，熔硅液面越来越接近高温区，单晶生长界面的温度越来越高，使单晶变细。 等直径生长，是由计算机自动控制温度和拉晶速度，但在生产实践中，操作工人一定要注意观察和记录晶体直径和温度的变化，一旦有异常，迅速报告班长或上一级部门。 熔化料注意事项： 1、埚位升降的把握 一旦跨料之后，应该马上将坩埚升上来。如果不及时将坩埚升上来，料块的主体部分处于低温区，会增加化料的时间，也就增加