第二章 低介装置陶瓷.docVIP

第二章 低介装置陶瓷 一、教学基本要求 了解装置瓷的特点、要求与分类；滑石瓷老化的原因及解决措施；Al2O3与滑石瓷相比有哪些优缺点；掌握电介质材料与金属材料导热机制的区别，高导热晶体应具备哪些特点；光散射因子有哪些；陶瓷透明化的方法。 二、基本内容概述 2.1 低介装置瓷的基本知识 1.????? 低介装置瓷的概念：用于电子技术、微电子技术和光电子技术中起绝缘、支撑、保护作用的陶瓷装置零件、陶瓷基片以及多层陶瓷封装等的瓷料。 2.????? 低介装置瓷的性能： （1）电性能： ????????? 介电系数低，?≤10；信号传输延迟时间与成正比，用于高频电路必须降低ε，提高信号传输速度，减少信号延迟。 ????????? 介电损耗小，tg?为2×10-4～9×10-3；减少介电损耗，增大品质因素。 ????????? 抗电强度高，≥10kv/mm； ????????? 绝缘电阻高，＞1012Ω·㎝(20℃)；耐压 （2）机械性能： ????????? 抗弯强度、抗拉强度高； （3）热性能： ????????? 线热膨胀系数小；与硅芯片匹配； ????????? 热导率高，散热性能好； ????????? 耐热冲击、热稳定性好； 2.2 传统低介装置瓷 1.??????? 滑石瓷： ???????? 滑石的结构：滑石瓷分子式：3MgO·4SiO2·H2O，滑石矿为层状结构的镁硅酸盐，属单斜晶系，[SiO4]四面体联结成连续的六方平面网，活性氧离子朝向一边，每两个六方网状层的活性氧离子彼此相对，通过一层水镁氧层联结成复合层。 ???????? 滑石的相变： 120~200℃，脱去吸附水 1000℃，脱去结构水，转变为偏硅酸镁 1557℃，再次失去Si，生成镁橄榄石 偏硅酸镁具有三种晶型，原顽辉石是滑石瓷的主晶相，有少量斜顽辉石。 ???????? 滑石瓷存在的问题及解决方案 ??????????????????????? i.????????????? 老化：老化原因及防老化措施。 滑石瓷的老化是自破坏现象，指储存或使用过程中瓷件出现微裂纹或斑点。 老化原因是：原顽辉石转变为斜顽辉石时，密度增大，体积减小，内应力增大。 防老化措施：a. 用粘度大的玻璃相包裹晶粒，防止相变；b. 抑制晶粒生长；c. 去除游离石英。 ????????????????????? ii.????????????? 开裂：开裂原因及防开裂措施。 开裂原因：内因，层状结构，热膨胀系数和密度各向异性导致收缩各向异性；外因，成型过程中的定向排列。 防开裂措施：a. 1300~1350℃高温预烧；b. 热压铸成型。 ??????????????????? iii.????????????? 烧结温度过窄：原因及措施。 MgO-Al2O3-SiO2系统的最低共熔点为1335℃，其组成为MgO(20%)、Al2O3(18.3%)、SiO2(61.4%)，与滑石瓷的组成非常接近，故滑石瓷在1350℃左右开始出现液相，并随温度的升高，液相数量急剧增加，使胚体软化、变形、甚至报废。 由于粉料经高温预烧后活性下降，烧结温度过低会出现生烧。因此滑石瓷的烧结温区一般为10~20℃。 扩大烧结温区的措施： ????????? 扩展下限：a)、提高粉料的活性：粉料细化，降低预烧温度或采用一次配料成瓷；b)、加入助熔剂BaCO3：在800℃~950℃出现Ba-Al-Si玻璃，包裹偏硅酸镁晶粒促进烧结； ????????? 扩展上限：a)、提高玻璃相黏度：b)、加入阻制剂ZrO2、ZnO，使Mg-Al-Si液相黏度大，胚体不易变形。 ???????? 滑石瓷用途 滑石瓷便宜，但热稳定性差。 ???????? 其他滑石类瓷简介 ??????????????????????? i.????????????? 镁橄榄石“幸福之石”“太阳的宝石” ????????????????????? ii.????????????? 堇青石“穷人家的蓝宝石” 2.??????? 氧化铝瓷 最初用于汽车火花塞。汽车中火花塞工作环境极为恶劣，点火瞬间T上升至3000℃，压力高达4MPa，急冷急热，必须耐热冲击。还要保证绝缘性，耐高电压。机械性能好。 ???????? 氧化铝瓷的分类、性能与用途 ??????????????????????? i.????????????? 以Al2O3为主要原料，α-Al2O3为主晶相的陶瓷称为氧化铝瓷。根据氧化铝瓷的含量，将氧化铝瓷分为莫来石瓷、刚玉-莫来石瓷、刚玉瓷，含Al2O375%以上的称为高铝瓷（P30表2-4）。根据氧化铝瓷的颜色和透光性能，可分为白色Al2O3瓷、黑色Al2O3瓷、透明Al2O3瓷。 ???????? 氧化铝瓷原料的制备 ???????????