3.6压电式传感器.ppt

主要内容 3.6.1 压电效应 3.6.2 压电材料 3.6.3 石英晶体的压电特性 3.6.4 压电陶瓷的压电特性 3.6.5 压电式传感器等效电路 3.3.6 压电式传感器的测量电路 3.6.7 压电式传感器的应用 压电式传感器简介 压电式传感器是一种有源型传感器，是以某些电介质的压电效应为基础，在外力作用下，在电介质的表面上产生电荷，从而实现非电量测量。 压电传感元件是力敏感元件，所以它能测量最终能变换为力的那些物理量，例如力、压力、加速度等。根据其测量的参数不同，可分为： （a）压电式力传感器 （b）压电式加速度传感器 （c）压电式位移传感器等 压电式传感器的特点与应用 压电式传感器具有响应频带宽、灵敏度高、信噪比大、结构简单、工作可靠、重量轻等优点。 近年来，由于电子技术的飞速发展，随着与之配套的二次仪表以及低噪声、小电容、高绝缘电阻电缆的出现，使压电传感器的使用更为方便。因此，在工程力学、生物医学、石油勘探、声波测井、电声学等许多技术领域中获得了广泛的应用。 3.6.1 压电效应 压电效应（Piezoelectric Effect） 一些离子型晶体的电介质不仅在电场力作用下，而且在机械力作用下，都会产生极化现象。且其电位移D(在MKS单位制中即电荷密度σ)与外应力张量T成正比： D = dT 式中 d——压电常数矩阵。 当外力消失，电介质又恢复不带电原状；当外力变向，电荷极性随之而变。这种现象称为正压电效应，或简称压电效应。 压电材料 定义：具有压电效应的电介物质称为压电材料。 分类：压电晶体，如石英等； 压电陶瓷，如钛酸钡、锆钛酸铅等； 压电半导体，如硫化锌、碲化镉等。 对压电材料特性要求： （一）压电陶瓷 （二）? 石英晶体 (a)石英晶体 (b)沿y方向切下一块晶体片  石英晶体的压电效应 原理 1.未受外力,正电硅离子和负电氧离子分布成3个电偶极矩 P1,P2和P3 P1+P2+P3 =0, 晶体表面不产生电荷,电荷平衡,即呈中性 2.受x轴方向压力:压缩变形,电偶极矩在x轴方向分量 (P1+P2+P3 )x 0,表面A上呈负电荷,B面呈正电荷 3.沿y轴压力:压缩变形，电偶极矩在x轴方向的分量 (P1+P2+P3 )x 0, C,D面上不带电荷, A,B面分别呈现正，负电荷。 晶体片上电荷极性与受力方向的关系 (a)x轴受压力, (b)x轴受拉力 (c〉y轴受压力,(d)y轴受拉力 结论： 沿x轴施加力,在垂直于x轴晶面上产生电荷的现象,即“纵向压电效应”。 y轴施加力,而仍在垂直于x轴的晶面上产生电荷的现象被称为“横向压电效应”。 沿光轴(z)方向施加力,石英晶体不产生压电效应。 无论是正或逆压电效应，其作用力（或应变）与电荷（或电场强度）之间呈线性关系； 晶体在哪个方向上有正压电效应，则在此方向上一定存在逆压电效应； 石英晶体不是在任何方向都存在压电效应的。 3.6.4 压电陶瓷的压电现象 压电陶瓷是人造多晶体,压电机理与石英晶体不相同。 压电陶瓷材料内的晶粒有许多自发极化的电畴。 在极化前,各电畴任意方向排列,自发极化作用相互抵消,陶瓷内极化强度为零 极化：施加外电场,电畴自发极化方向转到与外加电场方向一致,已极化 压电陶瓷的压电效应 外电场撤销,各电畴一定程度上按原外加电场方向取向,陶瓷极化强度不立即恢复到零,存在剩余极化强度。 同时陶瓷片极化两端出现束缚电荷,吸附电子，对外中性 由于束缚电荷的作用，在陶瓷片的电极面上吸附了一层来自外界的自由电荷。这些自由电荷与陶瓷片内的束缚电荷符号相反而数量相等，它起着屏蔽和抵消陶瓷片内极化强度对外界的作用。 所以电压表不能测出陶瓷片内的极化程度 原理 原理 总结 压电材料的参数 弹性系数 2 介电常数 把两个力学量--应力τ和应变e与两个电学量--电场强度E和电位移强度D联系在一起，描述它们之间相互作用的表达式就是所谓的压电方程。 处在工作状态下的压电体，其力学边界条件可以有机械自由与机械夹紧两种情况，而电学边界条件则有电学短路和电学开路两种情况，根据不同的边界条件，选择不同的自变量与因变量，就可以得到不同类型的压电方程。 压电方程组—同时受应力和电场作用 压电体同时受电场和应力作用时，利用叠加原理来处理。 第一类方程组， 应力、电场强度为自变量 应变、电位移为因变量 压电式传感器的测量电路 两种不同等效模型 压电传感器仅适用于交流工作