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pld制备的zosicsi薄膜的光电特性及mn掺杂zno薄膜的结构和磁性研究

, Abst豫c£ 2。The5 ZnOthin£lmwaS PLD。Thes臼mc抛re a£。%Mn—doped preparedby characteristicofthe has s踟plebeen XI之Dand fme perf.o肌edby x—rayabsomtion results showthatMn2+substitutesforZn2十intetrahe击al stmcture(XAFS)。1he le鑫dS幻the i魏e羚鑫seQfl蘸tiee c盛∞e|ion跹d sy攥撵et黟,whie耋l e潍st鞠{along in出Icesworse ofthe c巧stalquality ZnO min纛lm。Low钯mpe豫tureferromagnetism ofme fiImhasbeen Zno.95Mno.050 obsen,ed acommercial byusing interface resultsof0 a稚 quantum deVice(SQUID).强e K—edgeabsoq)tionspectra PL th鼓搬e臻a豫nu搬e∞usOVac张eies sp。e妇in攮e痰e i建氇e in£o sa爨ple.Taking accountOfBMP cOncludethatthelow of theo叫,we temperatureferromagnetism ZnO is relatedtothe of vacancies. 】Ⅵ.n—doped sample probalbIy presenceoxygen Keywords:ZnO,SiC,ultraVioletsemicon翻ctof de专ectof,dilute莲magnetie lH 第一章绪论 1.3.4其它薄膜制备方法 除了上述的制备方法外,脉冲激光沉积(PLD)技术在Zn0薄膜的制备中也 有广泛的应用,我们将在第二章给以详细介绍。此外,Zn0薄膜的生长还有反应 蒸发沉积、弧光等离子体放电、熔融、水热等方法。不过,这些方法目前研究 和应用仍较少。 1.4 ZnO紫外辐射探测器和稀磁半导体研究进展 1.4.1 ZnO紫外辐射探测器的研究进展 由于Zn0是一种直接宽禁带的化合物半导体材料,在室温下的禁带宽度为 2’23】。 高光电导特性,可制作紫外探测器【2 Zn0紫外探测器分为结型和光电导型,但是由于p型Zn0制备困难,所以早 用溅射的znO薄膜制作出上升时间和下

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