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pld制备的zosicsi薄膜的光电特性及mn掺杂zno薄膜的结构和磁性研究
, Abst豫c£
2。The5 ZnOthin£lmwaS PLD。Thes臼mc抛re
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ZnO is relatedtothe of vacancies.
】Ⅵ.n—doped sample
probalbIy presenceoxygen
Keywords:ZnO,SiC,ultraVioletsemicon翻ctof
de专ectof,dilute莲magnetie
lH
第一章绪论
1.3.4其它薄膜制备方法
除了上述的制备方法外,脉冲激光沉积(PLD)技术在Zn0薄膜的制备中也
有广泛的应用,我们将在第二章给以详细介绍。此外,Zn0薄膜的生长还有反应
蒸发沉积、弧光等离子体放电、熔融、水热等方法。不过,这些方法目前研究
和应用仍较少。
1.4
ZnO紫外辐射探测器和稀磁半导体研究进展
1.4.1
ZnO紫外辐射探测器的研究进展
由于Zn0是一种直接宽禁带的化合物半导体材料,在室温下的禁带宽度为
2’23】。
高光电导特性,可制作紫外探测器【2
Zn0紫外探测器分为结型和光电导型,但是由于p型Zn0制备困难,所以早
用溅射的znO薄膜制作出上升时间和下
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