台积电节能措施创新.pptVIP

5 照明節能改善 經常開啟 紅色 經常關閉 綠色 不用時關閉 橙色 現場節能標示 29 90年度節能計劃 30 結論 首先台積電要感謝經濟部能源會,工研院能資所及各位評審委員的指導而使台積電六廠能在眾多的競爭者中脫穎而出得到這個來之不易的節約能源傑出獎項. 節約能源是台積電公司一貫的基本政策,本廠從建廠規劃開始一直以此政策為最高指導原則來設計及建造,用最先進及高效率的設備以及最佳的控制方式來達到節能的目的.實際運轉到目前二年的時間內更利用持續改善及提案改善制度等活動,執行許多節約能源方案來節省寶貴的能源,光是在89年度我們省下了貳仟萬元,約佔總耗電量比例的6.7%. 我們已將本廠實施節約能源的成果與經驗,推廣至台積各廠,擴大整體效益。也希望能將此經驗分享給其他業界,共同推行節約能源活動。 台積六廠未來將持續地配合國家政策,以及更進一步的發展新的方法減少能源消耗,降低生產成本。期望能成為業界節約能源之楷模。 31 Line-A SUPPORT OFFICE HPM CUP Line-B 廠務系統參觀路線圖 Office 3F gowning room HPM B1 AAS 廢氣處理系統 Fab 1F tool utility / 純水系統 Fab 4F Clean Room MAU FFU CUP 1F UPW 純水系統 CUP B2 WWT/AOR /AWR/冰桶 CUP 1F Chiller 冰機系統 CUP RF Cooling tower 32 台積六廠節能措施簡介 Fab-6 Fab-14 台積六廠節能措施簡介 六廠介紹 ………………….1~3 節約能源措施 建廠設計階段 ……….. 4~22 生產運轉階段 ………. 23~29 90年度節能計劃 ……. 30~31 參觀路線圖 …………….. 32 六廠介紹 Building Total Floor Space : 162,237 m2 Total Clean Room Space : 17,648 m2 Technology Capability : 0.25/0.18/0.15/0.13mm Maximum Capacity : ≧60,000/month (8”) CUP 14/15 CUP 6 Warehouse CUP 17 CUP 16 Central Support Fab-16 300 mm Fab-17 300 mm Central Support Fab-14 300 mm Fab-15 300 mm CUP 18 Fab-18 300 mm Fab-6 Office Office RD Admn Dormitory Fab-15 300 mm Bulk Gas Yard 1 Fab-6 Profile Fab-6 is the first of the six fabs TSMC plans to establish in the Tainan Science Industrial Park(TSIP). Fab-6 broke ground in July 1997 and started production in January 2000. Capacity 50,000 pcs of 8-inch wafer and 4,500 pcs of 12-inch wafer per month Technology Advanced CMOS technology ranging from 0.25μm down to 0.10μm. Featuring state-of-the-art manufacturing capabilities of all-scanner lithography, shallow trench isolation, Titanium/Cobalt Salicide, chemical mechanical polishing, low-k dielectrics, and copper interconnect. Product Mix Digital logic products, mixed-signal logic products, standard and embedded memory products. Clean Room Mini-environment: Class 0.1 Ballroom: Class 100 2 Key Milestones 07/‘97 Fab-6