大口径非球面元件可控气囊抛光系统.pdfVIP

第 24卷第 6期 强 激 光 与 粒 子 束 Vo1．24。NO．6 2012年 6月 HIGH POW ER LASER AND PARTICLE BEAMS Jun．，2012 文章编号 ： 1001—4322(2012)06—1344—05 大 口径非球面元件可控气囊抛光系统 潘 日， 杨 炜 ， 王振忠 ，郭隐彪 ， 王 健 ， 钟 波。 (1_厦门大学 物理与机 电工程学 院，福 建 厦门 361005； 2．中国工程物理研究院 激光聚变研究中心 ，四川I绵 阳621900) 摘 要： 根据大 口径非球面光学元件 的实 际加工需要 ，设计并制造可控气囊抛光系统 ，并对机构进行运 动学仿真，仿真结果表明，气囊 自转轴的运动空间可以满足大 口径非球面光学元件的连续进动加工要求 。为了 证明所设计系统 的可加工性 ，以直径 320mm 的圆形平面光学元件进行加工实验 。经过该气囊抛光工具 24h 的抛光后 ，工件达到较好的面型精度 ，光学元件 的表面粗糙度 由0．2722减小到 0．0682(-“632．8nm)，PV值 从 1．671降低到 0．905A。对光学元件的实际加工实验结果表 明：可控气囊抛光系统在加工过程 中结构稳定性 好 ，符合设计要求 ，可有效提高加工工件面型精度 。 关键词 ： 大 口径非球面光学元件 ； 进动抛光 ； 可控气囊抛光系统 ； 设计及研制 中图分类号 ： TG7O1 文献标志码 ： A doi：10．3788／HPLP1344 非球面光学元件具有矫正像差 、简化系统、提高光学系统精度的优点 。激光聚变装置 、高能激光、红外热成 像 、卫星用光学系统等对高精度大 口径非球面元件都有极大的需求 。然而 由于大 口径非球面光学元件成型需 要经历磨削、研磨和抛光等几道冷加工工序，每道工序对光学元件表面质量都会产生不同的影响。因此，获得 高精密非球面光学元件成为国内外学者面临的难题 。精密抛光作为光学元件冷加工的最后一道工序 ，近年来 得到了迅速发展 ，主要有小工具抛光方法 、磁流变抛光、应力盘抛光、离子束抛光、计算机控制光学表面成型技 术等 。。。现有的主流抛光方法数控抛光方法在大口径非球面光学元件的抛光中存在显著缺点，即抛光头不能 很好地与工件表面吻合 。 气囊式抛光作为近几年 国内外新兴的抛光技术，采用具有一定充气压力 的球形气囊作为抛光工具 ，不仅可 以保证抛光头与被抛光工件表面吻合性好 ，而且可 以通过调节气囊内部充气压力控制抛光效率和被抛光工件 的表面质量，是一种具有发展 潜力的大 口径非球面抛光方法 。国内外对气 囊抛光工具做 了大量 的研 究工 作 。。。，气囊抛光技术首先在 2000年由英国伦敦实验室和 Zeeko公司的D．D．Walker等人提 出；随后 ，Zeeko 公司开发了应用气囊抛光工具的系列设备 ，Zeeko公司开发 的气囊抛光系列机床虽然性能优异但是价格 昂贵 而且技术严格保密 ；哈尔滨工业大学的高波等人在D．D．Walker等人的研究基础上 ，对抛光气囊的结构进行改 进并成功试制了 6轴气囊抛光试验机，并在加工实验中得到表面粗糙度为 1．249nm 的光滑表面，虽然试制 的 实验样机精度可达到超精密加工的要求 ，但该试验机的结构只适用于中小 口径光学元件的加工l7 ；浙江丁业 大学计时鸣等人针对模具 自由曲面抛光技术 ，应用机器人控制气囊抛光工具实现模具 自由曲面的抛光 ，抛光 后 ，模具表面粗糙度可达 5nm 的镜面级要求 ，但是其抛光系统在机械精度及刚度上较之采用机床为气囊载体 的抛光系统有差距 ，且其面向的是 自由曲面模具的抛光 ，不适用于大 口径非球面光学元件的超精密加工 。 由于气囊抛光技术在抛光非球面光学元件上的优势 ，并且随着大 口径非球面光学元件需求量的 日益增长 ， 国内应用于大 口径非球面光学元件超精密加工的气囊抛光机床 的开发迫在眉睫。因此 ，根据大 口径非球面光 学元件 的实际加工需要及前人所做研究 的基础上 ，本文进行了可控气囊抛光系统设计 ，对系统的进动机构进行 运动学仿真，研制出可控气囊抛光系统实验用机 ，并进行 了抛光工艺实验 。 1 结构设计及仿真分析 1．1 总体结构设计 可控气囊抛光系统主要面