我国十五期间IC制造装备的发展战略研究.pdfVIP

维普资讯 2002年第2期 《机暑^技术与应用》 阗 践 口汪劲松 朱 煜 清华大学制造工程研究所 摘【 要】本文将通过世界Ic工艺装备的发展趋势和国内现状的分析，从十五 “86 重太专项的角度，对我国的Ic装备发展战略 进行探讨。提出以100rim的光刻机等关键设备为战略 目标，以自主技术创新突破和产业化为 目的，实现我国Ic装备技术和产业 的跨越式发展。 关【键词】集成电路：制造装备；光刻机；发展战略；工艺 装备的发展趋势和国内现状的分析，从十五 “863”重 引 叠 大专项的角度，对我国的