SAW技术资料.ppt

声表面波传感器优点 ⑹结构工艺性好，便于大批量生产 SAW传感器是平面结构，设计灵活；片状外形，易于组合；能比较方便地实现单片多功能化、智能化；安装容易，并能获得良好的热性能和机械性能。SAW传感器中的关键部件—SAW谐振器或延迟线，采用半导体平面制作工艺，结构牢固，质量稳定，重复性及可靠性好，易于大批量生产。 利用弹性体表面传播的声表面波来截取和处理信号的声表面波技术，自20世纪60年代出现以来，发展十分迅速。声表面波器件具有体积小、质量轻、频率选择性强、结构简单、易于批量生产的优点，已广泛应用于移动通信、电视、广播、传感器以及各种军用雷达、通信系统中。展望未来，声表面波技术主要解决以下几个问题。 五、声表面波发展展望 1、加强声表面波材料方面的研究： 传统的SAW衬底材料存在一些缺点，如压电转换效率不够(如石英)，如温度稳定性不好(如铌酸锂等)，新型压电晶体Sr3Ga2Ge4014(SGG)，其压电性好、机电耦合系数高。 薄膜材料的应用, 随着声表面波器件使用频率的提高, 各种性能的薄膜材料将越来越多地应用于声表面波器件的制作。 2、不断开发新型的声表面波器件 开发生产高性能、高频、低损耗的声表面波滤波器和谐振器。 加强声表面波传感器的研究和开发，主要在一下几个方面发展：1）阵列化，即在一个器件上做多个通道，同时进行不同物质的检测。2）开发无源无线传感技术，远距离工作的无源无线声表面波传感器更适合于不宜接触的工程结构和环境检测。3）开发新型声表面波激发方式和检测方式。 五、声表面波发展展望 3、进一步提高声表面波器件的频率 采用电极的刻蚀技术, 由光刻到电子束刻蚀、X射线刻蚀等, 能够制出周期越来越小的电极。 寻找具有较高声表面波速度的压电材料，高声速的声波模式 4、改进声表面波器件的制造和封装工艺 五、声表面波发展展望 [1] 李辉，潘峰 . 声表面波器件的研究进展 . 真空科学与技术，2001,21（05）：376-380 [2] 胡爱明 . 微声电子器件 . 北京：国防工业出版社，2008 [3] 陈明，范东远，李岁劳 . 声表面波传感器 . 西安：西北工业大学出版社，1997；175 [4] 杨楷，李志刚，等 . 声表面波气体传感器的研究进展 . 电子元件与材料，2008,27（9）：26-30 [5] Rayleigh L. On waves propagated along the plane surface of an elastic body . The proceedings of the London Mathematical, 1885 [6] Horrillo M C, Fernandez M J, Fontecha J L, et al. Detection of volatile organic compounds using surface acoustic wave sensors with different polymer coatings [J]. Thin Solid Films, 2004, 467: 234－238. [7] Chin H,Liu C Y,Chiu Y C ,et al. L High-frequency surface acoustic wave(SAW) devices fabricated by contact-transferred. [8] JingzeTian，QingZhang，Q.Zhou，et al.Correlation between adhesion of dijamond-like Earbon film on LITaO3 substrate and SAW veloeity[J〕.Surfaee&Coatings TechLnology. 2005，198:198一201. 六、参考文献 [9] Thiele J A, Cunha M P. Dual configuration high temperature hydrogen sensor on LGS saw devices [A]. Proc of the IEEE Ultrasonics Symposium [C]. New York: IEEE Press, 2004. 809－812. [10] Wang W, Lee K, Kim T, et al. A novel wireless, passive CO2 sensor incorporating a surface acoustic wave reflective delay line [J]. Smart Mater Struct, 2007, 16: 1382－1389. [11] Welsch