光学元的件技术要求与检验国际新标准课件.pptVIP

另外，梯度问题 表4.3 典型NIF光学元件表面形技术要求 光学元件 PV，λ=0.633μm 梯度值 主放大器钕玻璃片 T： λ/6 空间波长6cm时，梯度λ/25/ cm，空间波长0.4―6cm时，梯度λ/20/cm 光传输 反射镜 R： λ/2.5 空间波长2cm时，梯度λ/25/ cm，空间波长2cm时，梯度λ/10/cm KDP开关 晶体 T： λ/4 空间波长2cm时，梯度λ/25/ cm，空间波长2cm时，梯度λ/10/cm 4.3 表面缺陷问题 早期 : “光学量度”把光学机械表面质量（60年代）： 光学表面光洁度PI … PVII ― 缺陷 机械表面光洁度▽1-14 ― 粗糙度 现用“光学设计手册” （90年代）： 光学表面疵病（GB1185-89） B/G×J ；CN×B；Pz 表面粗糙度（GB1031-83《机械…》） Ra=0.012?m ▽14 ISO10110-7 Ⅰ. 5/N×A；CN’ ×A; LN”×A”; EA’” Ⅱ. 5/TV或RV，EA’” 用Suface texture 表4.4 方法I用的疵病标准板的具体数值 级数A mm 圆“缺陷”直径μm “划痕”尺寸 μm 标准板N0.1 0.004 0.006 0.010