工程管理系电脑整合 35P课件.ppt

Dynamic Vehicle Allocation in a Connecting 300mm AMHS Reference Paper Liao D.Y., Fu H.S., 2004, “Speed Delivery：Dynamic OHT Allocation and Dispatching in Large-Scale, 300-mm AMHS Management”, IEEE Robotics Automation Magazine, pp22-32 Lin J. T., Wang F.K., Wu C.K., 2003, “Connecting transport AMHS in a wafer fab”, International Journal Production Research, Vol. 41, No. 3, pp 529-544 Lin J.T., Wang F.K., Young J.R., “Virtual vehicle in the connecting transport automated material-handling system (AMHS)”, International Journal Production Research, Vol. 42, No. 13, pp 2599-2610 動機背景 半導體晶圓尺寸從6吋、 8吋增加到目前12吋，基於12吋晶圓加上載具重量超過人力搬運負荷的考量，藉由自動化物料設備，將晶舟直接由機台搬運至機台的interbay與intrabay軌道系統整合之自動化物料搬運系統因應而生 晶圓生產過程長，搬運頻繁且距離遠 晶圓尺寸增加，重量也隨之提高，導致人工搬運的困難 減少人為因素對於系統生產績效的影響 有效掌握晶圓狀態，並提升機台使用率 研究目的 12吋晶圓廠中將interbay與intrabay軌道直接連接後，軌道相互交錯，產生複雜的交通控制問題。因此如何由搬運及生產控制的角度出發，分析搬運車的配置與派工管制方式是相當值得探討的 藉由有效的搬運車管制，企圖增加傳送效益，提高生產總績效 搬運系統之變遷 天井式傳送系統 自動化物料搬運系統行為分析 搬運作業 搬運車「區分」活動範圍之“如何區分” 搬運車型分析 藉由晶舟存放及提領作業分析，將搬運車區分四種不同”車型”，不同“車型”即代表不同的活動範圍。 Type A車型 Type B車型 Type C車型 Type D車型 搬運車型組合分析 欲完成跨intrabay機台至機台的搬運需求，可由下列搬運車型組合完成。 Type A、Type B車型組合 Type A、Type C車型組合 Type D 搬運車面臨之問題 搬運車管制面臨問題 搬運車指派問題 派車法則 搜尋範圍 搜尋區域 搜尋距離 車述決定問題 intrabay及interbay系統交通壅塞、死鎖及真空現象 空車管理問題 如何繞行能較快服務下一個搬運需求 交通管理問題 intrabay及interbay系統交通壅塞、死鎖及真空現象 固定車型之車數訂定 - 1/8 固定車型之車數訂定 - 2/8 固定車型之車數訂定 - 3/8 固定車型之車數訂定 - 4/8 固定車型之車數訂定 - 5/8 固定車型之車數訂定 - 6/8 固定車型之車數訂定 - 7/8 固定車型之車數訂定 - 8/8 虛擬車型之車數訂定 - 1/1 系統描述與問題定義 目標系統 對國內某12吋晶圓廠 特徵化、縮小化之搬運系統。 系統組成 1個interbay、8 個intrabay系統 設123台機台、16個倉儲 系統假設 不考慮投料、生產排程與機台派工 只考慮晶圓廠內搬運，不包括廠外及 機台內部的傳送問題 問題定義 系統軌道直接連接及搬運車「區分」活動範圍的環境下，搬運車應如何執行搬運任務、如何運作。 搬運車管制邏輯定義 固定車型環境 運作說明 各intrabay皆有所屬A、C、D車型搬運車，且車型事先指定、固定不變。 根據搬運車型適才適用原則，指派無任務搬運車。 虛擬車型環境(I) 運作說明 搬運車型不事先指定，且對每台搬運車而言，車型會變換。 以“最近”為原則，並根據適才適用及各車型“使用上限”給定車型。 虛擬車型環境(II) 運作說明 與虛擬車型環境(I)同 另外，搬運車不一定要回所屬intrabay系統(interbay交換車機制)。 模擬實驗 實驗目的 評估搬運車管制邏輯在不同的系統負荷下，對系統績效的影響。 實驗設計 績效指標 晶舟搬運完成量(lot)、晶舟平均旅程時間(sec)、晶舟第95%旅程時間(sec)、晶舟平均等待時間(sec)、搬運車空車利用率(%) 實驗因子 環境因子：晶舟來到率 水準： 70l