电阻应变传感器精要.pptVIP

传感器的组成 以测量汽车油箱中汽油液位的装置为例 工作原理及分类 电阻应变式传感器的工作原理是将电阻应变片粘贴到各种弹性敏感元件上，使物理量的变化变成应变片的应力、应变变化，从而变成电阻值变化。 根据应变片的材料不同，可分为三种 应变片的基本结构 电阻应变片式传感器是目前用 于测量力、力矩、压力、加速度、质量等参数最广泛的传感器之一。 其基本结构与组成如左图示意。 结构形式 敏感栅 敏感栅用来感受应变并转换为电阻的变化。 金属丝电阻应变片的敏感栅由具有高电阻率的金属丝(康铜或镍铬合金等，直径0.015~0.05mm左右)绕成。 结构形式 金属箔式电阻应变片的敏感栅是用栅状金属箔片代替栅状金属丝。金属栅采用光刻技术制造，适于大批量生产。其线条均匀，尺寸准确，阻值一致性好。箔片厚约1um~10um，散热好，黏结情况好，传递试件应变性能好。因此目前使用的多系金属箔式应变片。 结构形式 基底和覆盖层 基底和覆盖层的作用是保持敏感栅的几何形状及敏感栅与被测试件之间的电绝缘，并起着防潮、防蚀、防损等作用。 引线 引线起着敏感栅与测量电路之间过渡连接和引导的作用。 粘结剂 粘结剂的作用是把覆盖层和敏感栅固结在基底上。使用时，把应变片基底再粘贴在试件表面的被测部位。 优点： 结构简单，体积小，使用方便，性能稳定、可靠； 灵敏度高，精确度高，测量速度快，适合静态、动态测量； 易于实现测试过程自动化和多点同步测量，以及远距测量和遥测； 可测多种物理量，如：位移、加速度、力、力矩、压力等。 （一）电阻应变效应 箔式应变片 原理： 它是利用照相制版或光刻腐蚀法将电阻箔材在绝缘基底上制成各种图形的应变片； 优点： 敏感栅尺寸准确，线条均匀； 其弯头横向效应可以忽略； 可通过较大的电流； 散热性好，寿命长； 生产效率高； §2-3 半导体应变片 一、压阻效应 半导体应变片的工作原理是基于半导体材料的压阻效应。所谓压阻效应，是指半导体材料沿某一轴向受到外力作用时，其电阻率ρ发生变化的现象。 半导体应变片的电阻变化可由下式表示： 二、半导体应变片的结构特点 半导体应变片分为两类： 体型半导体应变片 体型半导体应变片是将半导体单晶硅或者锗加工成条状，在两端焊上引线后粘贴在胶膜基地上即成。 扩散型半导体应变片 扩散型半导体应变片是在电阻率很大的单晶硅支持片上，定域扩散一层P型或N型杂质，形成极薄的导电层，焊上电极即成。 二、半导体应变片的结构特点 因为半导体应变片的两个缺点，在使用半导体应变片时，必须进行温度补偿和非线性补偿，为此研制了相应的补偿型半导体应变片： 二、半导体应变片的结构特点 半导体应变片的突出特点是灵敏度高，可测微小应变。 半导体应变片的另一个特点是体积小，结构简单，机械滞后小，耗电少。 半导体应变片的缺点： 电阻温度系数大，对环境温度的变化敏感； 测量大应变时灵敏度的非线性严重。 §3-3 电阻应变式传感器及其应用 将应变片粘贴于被测构件上，直接用来测定构件的应变或应力。 将应变片粘贴于弹性元件上，与弹性元件一起构成应变式传感器。用来测量力、位移、压力、加速度、扭矩等物理参数。 一、电阻应变式测力传感器 （一）电阻应变式力传感器的结构 电阻应变式力传感器按弹性元件结构形式的不同，可分为柱式、环式、梁式等几种。 柱式力传感器 柱式力传感器分圆筒形和圆柱形两种，其结构是在圆筒或圆柱上按一定方式贴上应变片。 实心圆柱可以承受较大的载荷，但灵敏度较低，为了提高灵敏度，特别是在小集中应力测量时常采用空心圆筒。 柱式力传感器主要用来测量拉力和压力。 测量范围几千牛顿到几兆牛顿，精度可达±（0.3%~0.5%）。 环式力传感器 环式弹性元件的结构如图。 环式弹性元件受力后产生弯曲变形，根据弯曲情况画出弯矩图。 环式力传感器 环式力传感器的结构如图。 环式力传感器精度高，稳定性好，可拉压两用，测量范围几百牛顿到零点几兆牛顿，精度可达0.05%。 环式力传感器使用时上下受力必须是线接触，如果是面接触，将产生非线性误差。 应变式传感器实例 应变式压力传感器 应变式力传感器 4.机械滞后 应变片粘贴在被测试件上，当温度恒定时，其加载特性与卸载特性不重合，即为机械滞后。 产生原因：应变片在承受机械应变后，其内部会产生残余变形，使敏感栅电阻发生少量不可逆变化；在制造或粘贴应变片时，如果敏感栅受到不适当的变形或者粘结剂固化不充分。 Δε Δε1 机械应变ε 卸载 加载 指示应变εi 应变片的机械滞后 机械滞后值还与应变片所承受的应变量有关，加载时的机械应变愈大，卸载时的滞后也愈大。所以，通常在实验之前应将试件预先加、卸载若干次，以减少因机械滞后所产生的实验误差。 对于粘贴好的