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§7.2 储存环、同步辐射、对撞机 2、电子储存环与同步 辐射 6)同步辐射应用 例四:光刻与微加工 80年代中发展了一种叫做 LIGA的技术,它可以制作微齿 轮、微马达、微泵、微照明灯 具、微传感器等。 这种微机械加工可得到线条宽 度为几个或几十个微米、高度为 几十到几百微米的机件。 微型齿轮与蚂蚁 微型齿轮 高度: 150μm 直径: 260μm §7.2 储存环、同步辐射、对撞机 2、电子储存环与同步辐射 7)第三代同步辐射装置 Shanghai Synchrotron Radiation facility-SSRF A)组成 ◆ 注入
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