干式真空泵资料.ppt

2.7 分子泵 分子泵自1912年诞生以来，至今已快近一个世纪了。它在初期进展较缓慢，在1970年以前,分子泵的应用还仅限于核物理、电真空、表面科学等领域。但近20年来由于半导体产业的兴起和薄膜工业的发展，分子泵才被人们所重视,并得到了兴旺和发达，现代的分子泵已发展到实用和普及的阶段。 2.7.1 分子泵的特点 涡轮分子泵是靠高速转动的转子携带气体分子获得超高真空的一种真空泵 其极限压力可达10－9 Pa 抽速系列从50～40000L/s 振动小 转速可高达80000转/min 结构精密 分子泵、涡轮分子泵、磁悬浮轴承和气体静压轴承式涡轮分子泵、复合式分子泵、低温型涡轮分子泵、新型牵引分子泵、陶瓷涡轮分子泵，抽反应生成物的涡轮分子泵和极高真空涡轮分子泵 2.7.2 分子泵分类 涡轮分子泵 牵引分子泵 盘型分子泵 螺旋矩形牵引分子泵 复合分子泵 2.7.3 涡轮分子泵 　涡轮分子泵的基本结构有两种,一种是卧式的,另一种是立式的。 现在出现一种宽域型的涡轮分子泵，有标准型和化学型两种。标准型泵可用于10-7～200Pa的压力范围，流量之大可与低真空范围的机械增压泵相媲美。采用气体清洗措施来保护轴承，还设有防灰尘和玻璃碎片侵入的措施。化学型泵可适于对腐蚀性气体的连续稳定地排气，因转子上涂以耐腐蚀性涂层，轴承采用气体清洗措施。排出腐蚀性气体时，应采取气体清洗措施。磁力轴承用N2来清洗，以防腐蚀性气体侵入。 可获得清洁的高真空和超高真空环境。 应用领域： 它广泛应用于表面分析、加速器技术、等离子体技术、电真空器件的制造及真空技术的各个领域。 美国VARIAN公司的涡轮分子泵 2.7.4牵引分子泵 （1）螺旋矩形牵引分子泵 （2）盘型牵引分子泵 2.7.5 复合式分子泵 1980年以前，涡轮分子泵多用于科研部门，当半导体产业出现后，要求分子泵能连续地大量排气和获得清洁的真空,经常需要涡轮分子泵在1Pa以上工作。 但涡轮分子泵恰好在这个压力范围内抽速下降很多。为了使泵能在高压区域保持有较高的抽气性能，在原有的涡轮分子泵的高压侧配置了螺旋槽式的牵引分子泵，将两种泵的抽气单元串联组成一个整体，形成了一种宽域型的复合式分子泵。 涡轮＋螺旋矩形复合分子泵 涡轮＋盘型槽复合分子泵 2.7.6 陶瓷分子泵 一般的涡轮分子泵的转子多用高强度的铝合金材料制造。但在核聚变实验、加速器等领域内，要求泵能在强磁场的条件下应用。 在半导体产业中，为防止气态的反应生成物在泵内相变为固体颗粒物，而要求泵温较高，对砷化镓等强腐蚀性气体的抽除，要求泵应有耐腐蚀的性能。这样一来，再使用原来的金属材料制造分子泵的转子就会遇到很多困难。在这些恶劣的工作环境下最好的材料是使用陶瓷制造分子泵。 因为陶瓷材料具有良好的电绝缘性、耐磁性、耐热性，低的热膨胀性及耐腐蚀性等优点，但它也有些缺点，如脆性、强度的可靠性、加工焊接的特殊性及价格高等。现用于制作回转体的材料有高强度的氮化硅(Si3N4)。 2.7.9 各种先进技术在分子泵中的应用 （1）磁悬浮轴承在分子泵上的应用 一些半导体制造和表面科学研究都要求清洁的高真空,但涡轮分子泵用油来润滑轴承，油蒸汽的返流以及滚珠轴承引起的振动,对涡轮分子泵性能的影响是不能忽视的。为了解决上述问题，现在使用完全无接触的磁悬浮轴承于涡轮分子泵中。 主要技术特点：1、全无油的真空泵，可用来产生洁净的超高真空。2、低噪音，低震动。 3、高运行可靠性。无轴承磨损，无需维护。 4、装有自动保护装置，以保证在突然断电时，轴承不会损坏。  （2）陶瓷轴承应用于分子泵 涡轮分子泵采用精密陶瓷轴承支撑，陶瓷轴承的球体是采用一种特殊的复合材料，它较普通的金属球体质量小，所以旋转中离心力小、摩擦生热少、磨损小，一般说来，陶瓷轴承的使用寿命是普通轴承的两倍以上。 转子经过精密动平衡，运转可靠、振动小 2.7.10 分子泵真空机组 技术指标： 抽速：N2 60 L/s 极限压强： 10-6Pa 分子泵启动时间： 1.5 min 莱宝PT70-Compact 系列分子泵机组 Varian TASK涡轮分子泵＋涡旋泵机组 FJ110分子泵机组 技术指标： 抽气速率： 110 L/s  压缩比 ：N2 >108 　 H2 >5×102 极限压强：6×10-6Pa 应用领域：表面分析，加速器，半导体设备，等离子技术，电真空器件制造及真空技术等领域