CVD的热力学原理及研究进展解析.pptVIP

姓名：韩瑞山 学号：2014250050 CVD方法是什么 为什么用热力学方法研究CVD 热力学方法研究CVD的有哪些方面 热力学方法研究CVD有哪些不足 碳/碳复合材料CVD工艺是将炭纤维预成型体置于高温化学气相沉积炉中，气态碳氢化合物前驱体通过扩散、流动等方式进入预成型体内部，在一定温度和压力下裂解生成热解炭并沉积在炭纤维的表面，逐步沉积到多孔预制体骨架的孔隙中。 1预制体，2炉体，3石墨电极，4反应混合气体 然而在化学气相沉积过程中，包含复杂的气相反应、表面反应和扩散传质的物理化学过程，包括碳氢化合物气体裂解、聚合，碳-碳键的断裂，脂肪族或芳香族碳氢化合物的形成以及它们的脱氢、环化反应等化学过程，和反应物的扩散、吸附、反应缩聚成炭、副产物的脱附、沉积等物理过程。通过液气相色谱及质谱在以乙烷为碳源的化学气相沉积炉内就检测到70多种碳氢化合物。由上述可见，化学气相沉积过程复杂，影响因素较多。 化学热力学主要是研究物质系统在各种条件下的物理和化学变化中所伴随着的能量变化，从而对化学反应的方向和进行的程度作出准确的判断。 它具有如下特点： 一、讨论具体对象的宏观性质，不考虑物质的微观结构。 二、热力学只需要知道体系的始态和终态以及外界条件，不需要知道过程进行的机理。 三、热力学能告诉我们一个反应能不能进行、进行的条件、能进行到什么程度。 正因为化学热力学的上述一些