第二部分 第五章真空技术讲义.pptVIP

1、27℃下，1升容器中，当压强为1 Pa时，容器中有多少气体分子？ 2、什么叫真空？ 3、影响机械泵极限真空度的因素有哪些？ 4、影响扩散泵极限真空度的因素有哪些？ 5.4 真空系统 5.4.1 真空材料 金属管道 1）结构材料 玻璃管道 橡胶管道 2）密封材料：真空封油、真空封蜡、真空封泥、真空漆、环氧树脂。 当然，以上介绍的密封材料都是半永久性的。 永久性：焊接 静密封： 半永久性：封蜡、胶 密封 可拆性：法兰、螺纹、磨口 动密封：活塞、密封圈 5.4.2 常用附件 真空活塞：有金属的，也有玻璃的；连接与开关 真空阀门：同活塞 冷阱： 可使某些气体在冷阱中被捕捉从而进一步提高真空度或对某些气体进行分离。 5.4.3 真空清洁 1）橡胶制件的清洁：氢氧化钠溶液； 2）玻璃零件的清洁：洗液； 5）金属制品的清洁：有机溶剂去油。 5.4.4 真空系统抽气的几个术语 （1) 气流量Q 式中 V－气体体积，m3 p－压力，Pa t－时间，s （2) 真空管路的流导C 式中 Q－气流量， Pa.m3/s p2， p1－管道两端的压力。 （3)