第八讲超声SAW重点分析.ppt

现代传感技术 超声波、SAW传感器 声波的分类 声波的分类 声波的分类 超声波压电陶瓷片的形式 超声波传感器的形式 各种场合的距离测量； 生产线上的工件计数； 接近开关； 倒车报警装置； 机器人自动避障装置； 超声波液位/物位计； 自动门开关装置； 液体、气体的浓度和流量检测； 超声波清洗； 超声波雾化； 探伤、测厚、测密度； 医疗器械、美容仪、按摩仪 超声波传感器的应用 超声波传感器的应用 超声波传感器的应用 SAW传感器的应用 SAW传感器的应用 超声波测厚仪 超声波探伤仪 超声波探伤 声表面波简称SAW（Surface Acoustic Wave），是英国物理学家瑞利（Rayleigh）于19世纪末期在研究地震波的过程中发现的一种集中在地表面传播的声波。任何固体表面都存在这种现象。某些外界因素（如温度、压力、加速度、磁场、电压等）对SAW的传播参数会造成影响，根据这些影响与外界因素之间的关系可以研制出测量各种物理、化学参数的SAW传感器。 SAW瑞利波 SAW是一种沿弹性体表面传播的机械波。瑞利波质点的运动是一种椭圆偏振。在各向同性固体中，它是由平行于传播方向的纵振动和垂直于表面及传播方向的横振动合成的，两者的相位差为90度。瑞利波的能量只集中在一个波长深的表面层内，频率越高，能量集中的表面层越薄。 SAW传感器 SAW传感器是以SAW技术、电路技术、薄膜技术相结合设计的器件，由SAW换能器、电子放大器和SAW基片及其敏感区构成，采用瑞利波进行工作。 SAW换能器 换能器（IDT）是用蒸发或溅射等方法在压电基片表面淀积一层金属膜，再用光刻方法形成的叉指状薄膜，它是产生和接收声表面波的装置。 SAW传感器 敏感基片 采用石英、铌酸锂（LiNbO3）等压电单晶材料制成。当敏感基片受到物理、化学或机械量扰动作用时，其振荡频率会发生变化。通过适当的结构设计和理论计算，能使它仅对某一被测量有响应，并将其转换成频率量。 SAW传感器 当电压加到叉指电极上时，由于压电效应，在表面产生一个相应的弹性形变。由IDT激励的声表面波沿基片表面传播。当基片或基片上覆盖的敏感材料薄膜受到被测量调制时，声表面波的频率将改变，并由接收叉指电极测得。 SAW谐振器结构是将一个或两个叉指换能器（IDT）置于一对反射栅阵列组成的腔体中构成的。谐振器结构采用一个IDT时称为单端对谐振器，采用两个IDT时称为双端对谐振器。反射栅阵列能够将一定频率的入射波能量限制在由栅 SAW传感器的核心是SAW振荡器，有谐振器型（R型，如下图所示）和延迟线型（DL型）两种（如上页图示）。延迟线型设计简单，但稳定性较差，目前应用广泛的是谐振型。 SAW传感器 条组成的谐振腔内。使其在两个反射栅条之间来回反射、叠加、共振，形成驻波。 谐振器型SAW振荡器由SAW谐振器和放大电路组成。单端对谐振器的IDT既是发射端，也是接收端；双端对谐振器中一个IDT作为发射端，另一个IDT作为接收端。将SAW谐振器的输出信号经放大后，正反馈到输入端，只要放大器的增益能够补偿谐振器及其导线的损耗，同时又满足一定的相位条件，谐振器就可以起振并维持振荡状态。 SAW传感器 当在压电基片上设置两个IDT，一个为发射IDT，另一个为接收IDT时，SAW在两个IDT中心距之间产生时间延迟，称为SAW延迟线。 延迟线型SAW振荡器由声表面波延迟线和放大电路组成。输入换能器T1激发出声表面波，传播到换能器T2转换成电信号，经放大后反馈到T1以保持振荡状态。 SAW传感器 机械振动在介质中的传播称为声波，人耳可以听到的声波频率范围是16～20kHz，超过20kHz的声波称为超声波，如图所示。 超声波传感器 1）纵波：质点振动方向与传播方向一致的波称为纵波。它能在固体、液体和气体中传播。 2）横波：质点振动方向与传播方向相垂直的波称为横波。横波的形成是由于介质质点受到交变切应力作用时， 产生了切变形变，所以横波又叫做切变波。液体和气体介质不能承受切应力，只有固体介质能够承受切应力，因而横波只能在固体介质中传播，不能在液体和气体介质中传播。 3）表面波：质点的振动介于纵波和横波之间，沿着表面传播，振幅随着深度的增加而迅速衰减的波称为表面波。它只能在固体的表面传播。瑞利首先对这种波给予了理论上的说明，因此表面波又称为瑞利波。 以非接触方式工作，特别适用于防爆、放射性、医学等领域应用，也更容易安装和维护。 频率高、波长短、绕射现象小； 方向性好、能够成为