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离子刻蚀机和激光无掩膜光刻机LW405价格.docx
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离子刻蚀机和激光无掩膜光刻机LW405价格
标题:电子束刻蚀和台式原子层沉积系统参数库号:JX164067 价格:百度搜【润联网】查询主要技术参数:
离子蚀刻机 20-M / NS-12适合大规模量产使用的离子刻蚀机基片尺寸直径 4英寸 X 12片 直径 18英寸 X 3片样品台直接冷却离子源20cm 考夫曼离子源电源可更换为国内电源离子蚀刻机主要优点:1. 干式制程的微细加工装置,使得在薄膜磁头,半导体元件, MR sensor 等领域的开发研究及量产得以广泛应用。2. 物理蚀刻的特性,无论使用什么材料都可以用来加工,所以各种领域都可以被广泛应用。3. 配置使用美国考夫曼公司原装制造的离子源。4. 射频角度可以任意调整,蚀刻可以根据需要做垂直,斜面等等加工形状。5. 基板直接加装在直接冷却装置上,所以可以在低温环境下蚀刻。6. 配置公转自转传输机构,使得被蚀刻物可以得到比较均匀平滑的表面。7. 机台设计使用自动化的操作流程,所以可以有非常友好的使用生产过程。标题:平板电容式反应离子刻蚀机RIESI591和微纳米压印设备价格库号:JX164068 价格:百度搜【润联网】查询主要技术参数:
离子蚀刻机 10-M / NS-5:适合小规模量产使用和实验室研究基片尺寸直径 6英寸 X 1片样品台
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