振动因素对SPM测量结果影响的研究STM7解析.pptVIP

2002-11-23 振动因素影响SPM测量结果 振动因素对SPM测量结果影响的研究 天津大学 光电测控技术研究所（IOEMCT） 精密测试技术及仪器国家重点实验室 纳米测试技术实验室 陈津平 2002年11月23日 振动在SPM测量机理中的角色 DI MultiMode SPM 4094JV Z： 0.09nm X、Y: 1.9nm 4042E Z： 0.05nm X、Y: 0.3nm SPM工作环境中的振动因素 低频（100Hz） 说话与走动 地板与建筑物的共振 电传输线（一般60Hz） 房门的开关 高频（100Hz） 机械泵动装置 制冷系统 机加工工具在周围工作 低频隔振 沙箱 橡胶垫 金属盘簧悬挂系统 超导悬浮系统 涡流阻尼系统 光学平台 高频隔振 隔音腔 弹性元件 早期SPM隔振研究20世纪80年代中后期到90年代中后期 G. Binnig “Scanning tunneling microscopy” P. J. Silverman “Scanning tunneling microscope instrumentation” D. W Pohl “Some design criteria in scanning tunneling microscopy” C. F. Quate “Theories of the feedback and vib